等离子体处理方法和等离子体处理装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201380051554.8

申请日：

2013-10-31

公开(公告)号：

CN104704612A

公开(公告)日：

2015-06-10

发明(设计)人：

小川和人中川显小西英纪

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01L213065

IPC分类号：

H01L21336 H01L218247 H01L27115 H01L29788 H01L29792

代理机构：

北京尚诚知识产权代理有限公司 11322

代理人：

龙淳

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-06-10	公开	公开
2016-11-30	授权	授权
2015-07-08	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101616033623 IPC(主分类):H01L 21/3065 专利申请号:2013800515548 申请日:20131031

共 50 条

[1]

等离子体处理方法和等离子体处理装置 [P].

李诚泰 ;

土桥和也 .

中国专利 :CN102347231B ,2012-02-08

[2]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

舆水地盐 ;

山泽阳平 .

中国专利 :CN102522304A ,2012-06-27

[3]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

松本直树 ;

舆水地盐 ;

舆石公 .

中国专利 :CN100446637C ,2006-10-04

[4]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

舆水地盐 ;

山泽阳平 .

中国专利 :CN101847558B ,2010-09-29

[5]

等离子体处理方法和等离子体处理装置 [P].

向山广记 ;

户村幕树 ;

木原嘉英 ;

福井信志 .

日本专利 :CN118284956A ,2024-07-02

[6]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

东条利洋 ;

藤井祐希 .

中国专利 :CN107275179A ,2017-10-20

[7]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

堀口贵弘 ;

冈信介 .

中国专利 :CN100536634C ,2006-11-15

[8]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

金子和史 .

中国专利 :CN114302547A ,2022-04-08

[9]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

山泽阳平 ;

齐藤昌司 ;

传宝一树 ;

輿水地盐 ;

山涌纯 .

中国专利 :CN102056396A ,2011-05-11

[10]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

塚原利也 ;

山边周平 ;

谷地晃汰 ;

佐藤徹治 ;

内田阳平 ;

铃木步太 ;

田村洋典 ;

花冈秀敏 ;

佐佐木淳一 .

日本专利 :CN111261511B ,2024-06-18

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