一种硅片的超声波清洗装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201820969507.1

申请日：

2018-06-22

公开(公告)号：

CN208643504U

公开(公告)日：

2019-03-26

发明(设计)人：

许小兵谢静刘俊龙婉蓉罗华丽王晨熹

申请人：

申请人地址：

550018 贵州省贵阳市乌当区新添大道北段270号

IPC主分类号：

B08B312

IPC分类号：

B08B1300 H01L2167

代理机构：

贵阳睿腾知识产权代理有限公司 52114

代理人：

谷庆红

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-03-26	授权	授权

共 50 条

[1]

一种硅片的超声波清洗装置 [P].

许小兵 ;

谢静 ;

刘俊 ;

龙婉蓉 ;

罗华丽 ;

王晨熹 .

中国专利 :CN108568427A ,2018-09-25

[2]

一种硅片超声波清洗装置 [P].

吕明 ;

郭城 ;

李充 ;

王永超 .

中国专利 :CN216323811U ,2022-04-19

[3]

超声波清洗装置 [P].

徐志强 ;

林呼明 ;

唐连生 .

中国专利 :CN208245341U ,2018-12-18

[4]

一种单晶硅片的超声波清洗装置 [P].

倪云达 ;

葛正芳 ;

钱大丰 .

中国专利 :CN202134514U ,2012-02-01

[5]

硅片超声波清洗装置 [P].

孙铁囤 ;

汤平 ;

姚伟忠 .

中国专利 :CN206602106U ,2017-10-31

[6]

一种半导体硅片超声波清洗机 [P].

纪文昌 ;

刘涛 .

中国专利 :CN221508114U ,2024-08-09

[7]

超声波清洗装置 [P].

王伟 .

中国专利 :CN222724984U ,2025-04-08

[8]

超声波清洗装置 [P].

徐志强 ;

林呼明 ;

唐连生 .

中国专利 :CN108499972A ,2018-09-07

[9]

一种单晶硅片的超声波清洗装置 [P].

倪云达 ;

葛正芳 ;

钱大丰 .

中国专利 :CN102842486A ,2012-12-26

[10]

一种共享超声波清洗机 [P].

马金同 .

中国专利 :CN214767416U ,2021-11-19

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