搬送托盘和被加工物的加工方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010095644.9

申请日：

2020-02-17

公开(公告)号：

CN111584412A

公开(公告)日：

2020-08-25

发明(设计)人：

金子智洋石井茂水岛亮大室喜洋高桥昌之平贺洋行花冈庆祐阿部大辉

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01L21673

IPC分类号：

H01L2167

代理机构：

北京三友知识产权代理有限公司 11127

代理人：

乔婉;于靖帅

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-02-08	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/673 申请日:20200217
2020-08-25	公开	公开

共 50 条

[1]

搬送托盘和被加工物的加工方法 [P].

金子智洋 ;

石井茂 ;

水岛亮 ;

大室喜洋 ;

高桥昌之 ;

平贺洋行 ;

花冈庆祐 ;

阿部大辉 .

日本专利 :CN111584412B ,2025-11-07

[2]

被加工物的搬送托盘 [P].

田中英明 ;

井上克己 .

中国专利 :CN106057715B ,2016-10-26

[3]

被加工物の搬送方法[ja] [P].

日本专利 :JP7466996B2 ,2024-04-15

[4]

被加工物の搬送方法[ja] [P].

日本专利 :JP7193933B2 ,2022-12-21

[5]

搬送被加工物的制造系统 [P].

三浦真广 .

中国专利 :CN106919182A ,2017-07-04

[6]

被加工物的加工方法 [P].

有福法久 ;

小泽宽修 ;

李成君 .

中国专利 :CN106409762A ,2017-02-15

[7]

被加工物的加工方法 [P].

饭塚健太吕 .

中国专利 :CN113097063A ,2021-07-09

[8]

被加工物的加工方法 [P].

有福法久 ;

徐晙墉 .

中国专利 :CN106409761A ,2017-02-15

[9]

被加工物的加工方法 [P].

饭塚健太吕 .

日本专利 :CN113097063B ,2025-07-25

[10]

搬送機構、被加工物の搬送方法及び加工装置[ja] [P].

日本专利 :JP7313766B2 ,2023-07-25

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