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一种真空镀膜机冷却装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202121288324.1
申请日：
2021-06-09
公开(公告)号：
CN215103535U
公开(公告)日：
2021-12-10
发明(设计)人：
袁旭庆
申请人：
申请人地址：
350000 福建省福州市仓山区建新镇台屿路91号5号厂房一层
IPC主分类号：
C23C1456
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-12-10 | 授权 | 授权 |