单晶硅直径控制法及其设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN91102922.2

申请日：

1991-04-27

公开(公告)号：

CN1056138A

公开(公告)日：

1991-11-13

发明(设计)人：

川岛章洁佐藤晨夫大川登志男

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

C30B1526

IPC分类号：

代理机构：

中国专利代理有限公司

代理人：

肖掬昌;曹济洪

法律状态：

专利申请的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
1994-01-05	专利申请的视为撤回	专利申请的视为撤回
1991-11-13	公开	公开

共 50 条

[1]

单晶硅直径测定法及其设备 [P].

川岛章浩 ;

佐藤晨夫 ;

大川登志男 .

中国专利 :CN1056165A ,1991-11-13

[2]

单晶硅直径测量控制系统 [P].

郭兵健 ;

徐一俊 ;

黄笑容 ;

万喜增 ;

陈功 ;

蒋委达 .

中国专利 :CN201952525U ,2011-08-31

[3]

单晶硅炉控制装置 [P].

张志新 ;

王军 ;

安桂正 .

中国专利 :CN2913393Y ,2007-06-20

[4]

单晶硅烘箱 [P].

钟平 .

中国专利 :CN204705121U ,2015-10-14

[5]

单晶硅生产设备 [P].

邹凯 ;

田栋东 ;

李长营 ;

莫磊 ;

张国宏 ;

刘浩浩 ;

张德林 ;

陈亮亮 .

中国专利 :CN221895187U ,2024-10-25

[6]

单晶硅生产设备 [P].

兼头武 ;

神尾宽 .

中国专利 :CN1056137A ,1991-11-13

[7]

单晶硅生产设备 [P].

岛芳延 ;

神尾宽 ;

铃木真 .

中国专利 :CN1056136A ,1991-11-13

[8]

单晶硅生产设备 [P].

黄晓林 ;

马玉花 ;

妥延庆 ;

陈奕峰 .

中国专利 :CN220952177U ,2024-05-14

[9]

单晶硅生产设备 [P].

神尾宽 ;

荒木健治 ;

兼头武 .

中国专利 :CN1056135A ,1991-11-13

[10]

一种大直径单晶硅生产设备 [P].

李黎莎 .

中国专利 :CN112195514A ,2021-01-08

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