一种用于3D封装TSV硅抛光的化学机械抛光液

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201010584925.7

申请日：

2010-12-13

公开(公告)号：

CN102533117A

公开(公告)日：

2012-07-04

发明(设计)人：

徐春

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区龙东大道3000号浦东高科技园区5号楼613

IPC主分类号：

C09G102

IPC分类号：

H01L2102

代理机构：

上海翰鸿律师事务所 31246

代理人：

李佳铭

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-07-04	公开	公开
2014-01-08	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101560734199 IPC(主分类):C09G 1/02 专利申请号:2010105849257 申请日:20101213
2015-07-08	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101717312731 IPC(主分类):C09G 1/02 专利申请号:2010105849257 申请公布日:20120704

共 50 条

[1]

一种化学机械抛光液 [P].

徐春 .

中国专利 :CN102477261A ,2012-05-30

[2]

化学机械抛光液 [P].

杨春晓 ;

俞昌 ;

肖正龙 ;

荆建芬 .

中国专利 :CN1900146A ,2007-01-24

[3]

用于抛光多晶硅的化学机械抛光液 [P].

荆建芬 ;

杨春晓 ;

王麟 .

中国专利 :CN101143996A ,2008-03-19

[4]

用于抛光多晶硅的化学机械抛光液 [P].

荆建芬 ;

张建 ;

蔡鑫元 .

中国专利 :CN103045099B ,2013-04-17

[5]

用于抛光多晶硅的化学机械抛光液 [P].

荆建芬 ;

杨春晓 .

中国专利 :CN101558125A ,2009-10-14

[6]

用于抛光多晶硅的化学机械抛光液 [P].

荆建芬 ;

杨春晓 .

中国专利 :CN101627097A ,2010-01-13

[7]

用于抛光多晶硅的化学机械抛光液 [P].

荆建芬 ;

王麟 ;

杨春晓 .

中国专利 :CN101153206A ,2008-04-02

[8]

用于抛光多晶硅的化学机械抛光液 [P].

王晨 ;

杨春晓 .

中国专利 :CN101550317A ,2009-10-07

[9]

一种化学机械抛光液 [P].

徐春 .

中国专利 :CN102373013A ,2012-03-14

[10]

化学机械抛光液 [P].

赵铁均 ;

张延风 ;

杜新蕊 .

中国专利 :CN118813141A ,2024-10-22

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