用于抛光多晶硅的化学机械抛光液

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200780029104.3

申请日：

2007-09-14

公开(公告)号：

CN101627097A

公开(公告)日：

2010-01-13

发明(设计)人：

荆建芬杨春晓

申请人：

申请人地址：

201203中国上海市浦东新区张江高科技园区龙东大道3000号5号楼613-618室

IPC主分类号：

C09G102

IPC分类号：

代理机构：

上海翰鸿律师事务所

代理人：

李佳铭

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2010-01-13	公开	公开
2010-03-10	实质审查的生效	实质审查的生效
2013-11-27	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101675939897 IPC(主分类):H01L 21/304 专利申请号:2007800291043 申请公布日:20100113

共 50 条

[1]

用于抛光多晶硅的化学机械抛光液 [P].

荆建芬 ;

杨春晓 ;

王麟 .

中国专利 :CN101143996A ,2008-03-19

[2]

用于抛光多晶硅的化学机械抛光液 [P].

荆建芬 ;

张建 ;

蔡鑫元 .

中国专利 :CN103045099B ,2013-04-17

[3]

用于抛光多晶硅的化学机械抛光液 [P].

荆建芬 ;

王麟 ;

杨春晓 .

中国专利 :CN101153206A ,2008-04-02

[4]

用于抛光多晶硅的化学机械抛光液 [P].

荆建芬 ;

杨春晓 .

中国专利 :CN101558125A ,2009-10-14

[5]

多晶硅化学机械抛光液 [P].

荆建芬 ;

杨春晓 ;

王麟 .

中国专利 :CN101280158A ,2008-10-08

[6]

多晶硅化学机械抛光液 [P].

荆建芬 ;

杨春晓 .

中国专利 :CN101652445B ,2010-02-17

[7]

一种用于抛光多晶硅的化学机械抛光液 [P].

张建 ;

冯继恒 ;

尹淞 ;

鲁晨泓 .

中国专利 :CN112608685A ,2021-04-06

[8]

用于抛光多晶硅的化学机械抛光液 [P].

王晨 ;

杨春晓 .

中国专利 :CN101550317A ,2009-10-07

[9]

一种用于抛光多晶硅的化学机械抛光液 [P].

荆建芬 ;

杨春晓 ;

王麟 .

中国专利 :CN101168647A ,2008-04-30

[10]

一种用于抛光多晶硅的化学机械抛光液 [P].

荆建芬 ;

杨春晓 .

中国专利 :CN101535431B ,2009-09-16

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