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一种用于抛光多晶硅的化学机械抛光液
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202011491737.X
申请日：
2020-12-17
公开(公告)号：
CN112608685A
公开(公告)日：
2021-04-06
发明(设计)人：
张建
冯继恒
尹淞
鲁晨泓
申请人：
申请人地址：
314200 浙江省嘉兴市平湖市钟埭街道新明路901号3号楼
IPC主分类号：
C09G102
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
发明专利申请公布后的驳回
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-12-02 | 发明专利申请公布后的驳回 | 发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C09G 1/02 申请公布日:20210406 |
| 2021-04-06 | 公开 | 公开 |
| 2021-07-27 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C09G 1/02 申请日:20201217 |