一种用于抛光多晶硅的化学机械抛光液

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200610117669.4

申请日：

2006-10-27

公开(公告)号：

CN101168647A

公开(公告)日：

2008-04-30

发明(设计)人：

荆建芬杨春晓王麟

申请人：

申请人地址：

201203上海市浦东新区张江高科技园区龙东大道3000号5号楼613－618室

IPC主分类号：

C09G102

IPC分类号：

H01L21304

代理机构：

上海虹桥正瀚律师事务所

代理人：

李佳铭

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2010-07-14	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101003251519 IPC(主分类):C09G 1/02 专利申请号:2006101176694 公开日:20080430
2008-04-30	公开	公开

共 50 条

[1]

一种用于抛光多晶硅的化学机械抛光液 [P].

荆建芬 ;

杨春晓 .

中国专利 :CN101535431B ,2009-09-16

[2]

用于抛光多晶硅的化学机械抛光液 [P].

荆建芬 ;

王麟 ;

杨春晓 .

中国专利 :CN101153206A ,2008-04-02

[3]

用于抛光多晶硅的化学机械抛光液 [P].

荆建芬 ;

杨春晓 .

中国专利 :CN101558125A ,2009-10-14

[4]

用于抛光多晶硅的化学机械抛光液 [P].

荆建芬 ;

杨春晓 ;

王麟 .

中国专利 :CN101143996A ,2008-03-19

[5]

用于抛光多晶硅的化学机械抛光液 [P].

荆建芬 ;

张建 ;

蔡鑫元 .

中国专利 :CN103045099B ,2013-04-17

[6]

用于抛光多晶硅的化学机械抛光液 [P].

荆建芬 ;

杨春晓 .

中国专利 :CN101627097A ,2010-01-13

[7]

多晶硅化学机械抛光液 [P].

荆建芬 ;

杨春晓 ;

王麟 .

中国专利 :CN101280158A ,2008-10-08

[8]

多晶硅化学机械抛光液 [P].

荆建芬 ;

杨春晓 .

中国专利 :CN101652445B ,2010-02-17

[9]

一种用于抛光多晶硅的化学机械抛光液 [P].

张建 ;

冯继恒 ;

尹淞 ;

鲁晨泓 .

中国专利 :CN112608685A ,2021-04-06

[10]

用于抛光多晶硅的化学机械抛光液 [P].

王晨 ;

杨春晓 .

中国专利 :CN101550317A ,2009-10-07

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