高精度光学元件面形检测工装夹具

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210199493.7

申请日：

2012-06-15

公开(公告)号：

CN102721389A

公开(公告)日：

2012-10-10

发明(设计)人：

田伟王汝冬王平王立朋隋永新

申请人：

申请人地址：

130033 吉林省长春市东南湖大路3888号

IPC主分类号：

G01B2120

IPC分类号：

代理机构：

长春菁华专利商标代理事务所 22210

代理人：

张伟

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-12-05	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101359124753 IPC(主分类):G01B 21/20 专利申请号:2012101994937 申请日:20120615
2012-10-10	公开	公开
2018-07-10	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01B 21/20 申请日:20120615 授权公告日:20140709 终止日期:20170615

共 50 条

[1]

一种高精度光学元件面形检测支撑结构 [P].

刘绚 ;

贾辛 ;

付韬韬 ;

李声 ;

谢强 .

中国专利 :CN114777721A ,2022-07-22

[2]

深紫外投影光刻物镜的纳米级光学元件面形检测支撑工装 [P].

田伟 ;

王平 ;

王汝冬 ;

隋永新 .

中国专利 :CN105444694A ,2016-03-30

[3]

高精度检测平面光学元件面形的方法 [P].

弥谦 ;

张锦 ;

刘丙才 ;

潘永强 ;

赵昊天 .

中国专利 :CN107462188A ,2017-12-12

[4]

光刻物镜中光学元件高精度支撑结构 [P].

赵磊 ;

巩岩 ;

于新峰 ;

彭海峰 .

中国专利 :CN102854597A ,2013-01-02

[5]

一种用于高精度面形检测的光学元件支撑装置 [P].

王辉 ;

周烽 ;

王丽萍 ;

金春水 .

中国专利 :CN102506752A ,2012-06-20

[6]

超薄光学元件检测的工装夹具 [P].

徐世波 .

中国专利 :CN212265615U ,2021-01-01

[7]

超薄光学元件检测的工装夹具 [P].

张慧方 ;

顿爱欢 ;

邵建达 ;

朱宝钤 ;

陈荣 ;

方媛媛 ;

吴福林 ;

徐学科 .

中国专利 :CN209239848U ,2019-08-13

[8]

一种用于高精度光学元件面形检测的柔性支撑装置 [P].

王辉 ;

周烽 ;

郭本银 ;

谢耀 ;

王丽萍 ;

金春水 .

中国专利 :CN105423989A ,2016-03-23

[9]

高精度工装夹具 [P].

庞康杰 ;

辛洋洋 ;

庞广龙 .

中国专利 :CN218397075U ,2023-01-31

[10]

光学元件面形在位检测装置 [P].

廖德锋 ;

谢瑞清 ;

赵世杰 ;

陈贤华 ;

王健 ;

陈健 ;

赵智亮 ;

许乔 .

中国专利 :CN205262414U ,2016-05-25

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