一种硅片清洗装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201521143834.4

申请日：

2015-12-31

公开(公告)号：

CN205289078U

公开(公告)日：

2016-06-08

发明(设计)人：

房利

申请人：

申请人地址：

300385 天津市西青区西青经济技术开发区赛达工业园5号厂房

IPC主分类号：

B08B302

IPC分类号：

H01L2102

代理机构：

天津滨海科纬知识产权代理有限公司 12211

代理人：

刘莹

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-12-11	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B08B 3/02 申请日:20151231 授权公告日:20160608 终止日期:20191231
2016-06-08	授权	授权

共 50 条

[1]

一种硅片清洗装置 [P].

高鹏 ;

王岩 ;

王永青 ;

李建弘 ;

王建平 ;

郭志荣 ;

王冬雪 .

中国专利 :CN207254859U ,2018-04-20

[2]

一种硅片清洗装置 [P].

朱仁德 ;

冯培良 .

中国专利 :CN222980455U ,2025-06-13

[3]

硅片清洗装置 [P].

陈玉 ;

陈龙 .

中国专利 :CN209266366U ,2019-08-16

[4]

一种硅片清洗装置、硅片清洗方法以及硅片存放车 [P].

赵晟佑 .

中国专利 :CN110479685A ,2019-11-22

[5]

一种硅片表面自动清洗装置 [P].

李国刚 .

中国专利 :CN206340527U ,2017-07-18

[6]

一种硅片清洗设备 [P].

白如意 ;

王志广 ;

王强 ;

马玉水 .

中国专利 :CN221994420U ,2024-11-12

[7]

一种硅片清洗机用硅片清洗装置 [P].

曹志勇 ;

杭智华 .

中国专利 :CN221657360U ,2024-09-06

[8]

一种硅片清洗装置 [P].

陈涛 ;

岳维维 ;

孟祥熙 ;

赵艳 .

中国专利 :CN213613041U ,2021-07-06

[9]

一种硅片清洗装置 [P].

高如山 .

中国专利 :CN215451365U ,2022-01-07

[10]

一种硅片清洗装置 [P].

刘园 ;

袁祥龙 ;

赵洋 ;

武卫 ;

刘建伟 ;

祝斌 ;

刘姣龙 ;

裴坤羽 ;

孙晨光 ;

王彦君 ;

张宏杰 ;

由佰玲 ;

常雪岩 ;

杨春雪 ;

谢艳 ;

刘秒 ;

吕莹 ;

徐荣清 .

中国专利 :CN218191339U ,2023-01-03

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