一种硅片清洗装置

被引：0

申请号：

CN202222682053.9

申请日：

2022-10-12

公开(公告)号：

CN218191339U

公开(公告)日：

2023-01-03

发明(设计)人：

刘园袁祥龙赵洋武卫刘建伟祝斌刘姣龙裴坤羽孙晨光王彦君张宏杰由佰玲常雪岩杨春雪谢艳刘秒吕莹徐荣清

申请人：

申请人地址：

300384 天津市滨海新区华苑产业区（环外）海泰东路12号

IPC主分类号：

B08B302

IPC分类号：

B08B310 B08B1300

代理机构：

天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213

代理人：

栾志超

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2023-01-03	授权	授权

共 50 条

[1]

一种硅片清洗装置及清洗工艺 [P].

刘园 ;

袁祥龙 ;

赵洋 ;

武卫 ;

刘建伟 ;

祝斌 ;

刘姣龙 ;

裴坤羽 ;

孙晨光 ;

王彦君 ;

张宏杰 ;

由佰玲 ;

常雪岩 ;

杨春雪 ;

谢艳 ;

刘秒 ;

吕莹 ;

徐荣清 .

中国专利 :CN115502136A ,2022-12-23

[2]

一种硅片清洗装置 [P].

高鹏 ;

王岩 ;

王永青 ;

李建弘 ;

王建平 ;

郭志荣 ;

王冬雪 .

中国专利 :CN207254859U ,2018-04-20

[3]

一种硅片清洗装置 [P].

葛正浩 ;

魏林林 ;

白鹏虞 .

中国专利 :CN210497454U ,2020-05-12

[4]

一种硅片清洗装置 [P].

房利 .

中国专利 :CN205289078U ,2016-06-08

[5]

一种硅片清洗装置 [P].

嵇峰 .

中国专利 :CN211957604U ,2020-11-17

[6]

一种硅片表面清洗装置 [P].

陈锋 ;

沈国君 ;

陆勇 ;

刘太盛 .

中国专利 :CN214378342U ,2021-10-08

[7]

硅片清洗装置 [P].

李兆颖 ;

周来平 ;

孟洁 .

中国专利 :CN217544554U ,2022-10-04

[8]

硅片清洗装置 [P].

姬丹丹 ;

张豹 ;

王锐廷 ;

吴仪 .

中国专利 :CN204216011U ,2015-03-18

[9]

硅片清洗装置 [P].

陈玉 ;

陈龙 .

中国专利 :CN209266366U ,2019-08-16

[10]

一种太阳能硅片预清洗装置 [P].

李佩剑 ;

范玉红 ;

王冬红 ;

王华军 ;

周为贞 ;

朱瑞忠 .

中国专利 :CN203875073U ,2014-10-15

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