一种硅片清洗装置及清洗工艺

被引：0

申请号：

CN202211246151.6

申请日：

2022-10-12

公开(公告)号：

CN115502136A

公开(公告)日：

2022-12-23

发明(设计)人：

刘园袁祥龙赵洋武卫刘建伟祝斌刘姣龙裴坤羽孙晨光王彦君张宏杰由佰玲常雪岩杨春雪谢艳刘秒吕莹徐荣清

申请人：

申请人地址：

300384 天津市滨海新区华苑产业区（环外）海泰东路12号

IPC主分类号：

B08B302

IPC分类号：

B08B310 B08B1300

代理机构：

天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213

代理人：

栾志超

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2023-01-10	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B08B 3/02 申请日:20221012
2022-12-23	公开	公开

共 50 条

[1]

一种硅片清洗装置 [P].

刘园 ;

袁祥龙 ;

赵洋 ;

武卫 ;

刘建伟 ;

祝斌 ;

刘姣龙 ;

裴坤羽 ;

孙晨光 ;

王彦君 ;

张宏杰 ;

由佰玲 ;

常雪岩 ;

杨春雪 ;

谢艳 ;

刘秒 ;

吕莹 ;

徐荣清 .

中国专利 :CN218191339U ,2023-01-03

[2]

一种硅片清洗设备及清洗工艺 [P].

古元甲 ;

刘晓伟 ;

刘涛 ;

刘琦 ;

李伟 ;

刘沛然 ;

孙昊 ;

孙毅 ;

石海涛 ;

秦焱泽 ;

杨旭洲 ;

田志民 ;

李方乐 .

中国专利 :CN107639070A ,2018-01-30

[3]

一种大尺寸硅片碱腐清洗装置及清洗工艺 [P].

刘姣龙 ;

武卫 ;

孙晨光 ;

刘建伟 ;

由佰玲 ;

刘园 ;

谢艳 ;

杨春雪 ;

刘秒 ;

常雪岩 ;

裴坤羽 ;

祝斌 ;

王彦君 ;

吕莹 ;

徐荣清 .

中国专利 :CN110931348A ,2020-03-27

[4]

一种硅片清洗装置及硅片清洗方法 [P].

李昀泽 .

中国专利 :CN110323164A ,2019-10-11

[5]

一种硅片清洗液、清洗设备及清洗工艺 [P].

王冬雪 ;

王永青 ;

崔伟 ;

郝勇 ;

侯建明 ;

张宇鹏 ;

刘茂峰 ;

李娜 ;

赵越 .

中国专利 :CN108441353A ,2018-08-24

[6]

硅片清洗工艺 [P].

冯雪 ;

王庆波 .

中国专利 :CN121034945A ,2025-11-28

[7]

硅片清洗工艺 [P].

金文明 ;

贺贤汉 ;

张恩泽 ;

吴佳明 .

中国专利 :CN103762155A ,2014-04-30

[8]

一种硅片清洗工艺 [P].

崔敏娟 .

中国专利 :CN107552481A ,2018-01-09

[9]

一种硅片清洗工艺 [P].

袁祥龙 ;

刘园 ;

武卫 ;

孙晨光 ;

刘建伟 ;

由佰玲 ;

常雪岩 ;

谢艳 ;

杨春雪 ;

刘秒 ;

裴坤羽 ;

祝斌 ;

刘姣龙 ;

王彦君 ;

吕莹 ;

徐荣清 .

中国专利 :CN111199874A ,2020-05-26

[10]

硅片清洗装置及方法 [P].

张晨骋 .

中国专利 :CN101773917B ,2010-07-14

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