一种硅片清洗工艺

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010033475.6

申请日：

2020-01-13

公开(公告)号：

CN111199874A

公开(公告)日：

2020-05-26

发明(设计)人：

袁祥龙刘园武卫孙晨光刘建伟由佰玲常雪岩谢艳杨春雪刘秒裴坤羽祝斌刘姣龙王彦君吕莹徐荣清

申请人：

申请人地址：

300384 天津市滨海新区华苑产业区（环外）海泰东路12号

IPC主分类号：

H01L2102

IPC分类号：

B08B304 B08B308

代理机构：

天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213

代理人：

栾志超

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-05-26	公开	公开
2020-06-19	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/02 申请日:20200113

共 50 条

[1]

硅片清洗工艺 [P].

金文明 ;

贺贤汉 ;

张恩泽 ;

吴佳明 .

中国专利 :CN103762155A ,2014-04-30

[2]

一种硅片清洗工艺 [P].

崔敏娟 .

中国专利 :CN107552481A ,2018-01-09

[3]

硅片清洗工艺 [P].

冯雪 ;

王庆波 .

中国专利 :CN121034945A ,2025-11-28

[4]

一种硅片清洗设备及清洗工艺 [P].

古元甲 ;

刘晓伟 ;

刘涛 ;

刘琦 ;

李伟 ;

刘沛然 ;

孙昊 ;

孙毅 ;

石海涛 ;

秦焱泽 ;

杨旭洲 ;

田志民 ;

李方乐 .

中国专利 :CN107639070A ,2018-01-30

[5]

一种硅片清洗装置及清洗工艺 [P].

刘园 ;

袁祥龙 ;

赵洋 ;

武卫 ;

刘建伟 ;

祝斌 ;

刘姣龙 ;

裴坤羽 ;

孙晨光 ;

王彦君 ;

张宏杰 ;

由佰玲 ;

常雪岩 ;

杨春雪 ;

谢艳 ;

刘秒 ;

吕莹 ;

徐荣清 .

中国专利 :CN115502136A ,2022-12-23

[6]

一种降低硅片表面金属的清洗工艺 [P].

张雪 ;

张超仁 ;

曹锦伟 ;

王彦君 ;

孙晨光 .

中国专利 :CN114242563A ,2022-03-25

[7]

一种大直径硅片片盒清洗工艺 [P].

张宏杰 .

中国专利 :CN114643218A ,2022-06-21

[8]

硅片的清洗工艺 [P].

唐国琴 .

中国专利 :CN102569036A ,2012-07-11

[9]

一种大尺寸硅片碱腐清洗装置及清洗工艺 [P].

刘姣龙 ;

武卫 ;

孙晨光 ;

刘建伟 ;

由佰玲 ;

刘园 ;

谢艳 ;

杨春雪 ;

刘秒 ;

常雪岩 ;

裴坤羽 ;

祝斌 ;

王彦君 ;

吕莹 ;

徐荣清 .

中国专利 :CN110931348A ,2020-03-27

[10]

一种硅片扩散后清洗工艺 [P].

黄志焕 ;

李亚哲 ;

徐长坡 ;

陈澄 ;

梁效峰 ;

杨玉聪 ;

王晓捧 .

中国专利 :CN109755099B ,2019-05-14

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