一种硅片表面清洗装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202120151604.1

申请日：

2021-01-20

公开(公告)号：

CN214378342U

公开(公告)日：

2021-10-08

发明(设计)人：

陈锋沈国君陆勇刘太盛

申请人：

申请人地址：

324300 浙江省衢州市开化县华埠镇银辉路5号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L3118

代理机构：

温州青科专利代理事务所(特殊普通合伙) 33390

代理人：

钱磊

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-12-30	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20210120 授权公告日:20211008 终止日期:20220120
2021-10-08	授权	授权

共 50 条

[1]

一种硅片表面自动清洗装置 [P].

李国刚 .

中国专利 :CN206340527U ,2017-07-18

[2]

一种硅片表面污染清洗装置 [P].

郑松 ;

余江湖 ;

刘君 .

中国专利 :CN223405526U ,2025-10-03

[3]

一种用于硅片的表面清洗装置 [P].

雷杰 ;

周炜 ;

王庆钱 ;

杨大谊 ;

周璁 .

中国专利 :CN214022332U ,2021-08-24

[4]

硅片表面清洗装置 [P].

黄于于 .

中国专利 :CN207250472U ,2018-04-17

[5]

一种硅片表面自动清洗装置 [P].

李国刚 .

中国专利 :CN106783689A ,2017-05-31

[6]

一种硅片生产用清洗装置 [P].

方勇华 ;

詹玉峰 ;

陈跃华 ;

方萌 .

中国专利 :CN214321058U ,2021-10-01

[7]

一种硅片清洗装置 [P].

高鹏 ;

王岩 ;

王永青 ;

李建弘 ;

王建平 ;

郭志荣 ;

王冬雪 .

中国专利 :CN207254859U ,2018-04-20

[8]

一种硅片清洗装置 [P].

刘园 ;

袁祥龙 ;

赵洋 ;

武卫 ;

刘建伟 ;

祝斌 ;

刘姣龙 ;

裴坤羽 ;

孙晨光 ;

王彦君 ;

张宏杰 ;

由佰玲 ;

常雪岩 ;

杨春雪 ;

谢艳 ;

刘秒 ;

吕莹 ;

徐荣清 .

中国专利 :CN218191339U ,2023-01-03

[9]

一种硅片清洗装置 [P].

葛正浩 ;

魏林林 ;

白鹏虞 .

中国专利 :CN210497454U ,2020-05-12

[10]

一种硅片清洗装置 [P].

房利 .

中国专利 :CN205289078U ,2016-06-08

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