一种硅片表面自动清洗装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201611240346.4

申请日：

2016-12-29

公开(公告)号：

CN106783689A

公开(公告)日：

2017-05-31

发明(设计)人：

李国刚

申请人：

申请人地址：

215562 江苏省苏州市常熟市辛庄镇沈浜村

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

代理机构：

苏州广正知识产权代理有限公司 32234

代理人：

孙德荣

法律状态：

公开

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-05-31	公开	公开
2017-06-23	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101729334423 IPC(主分类):H01L 21/67 专利申请号:2016112403464 申请日:20161229

共 50 条

[1]

一种硅片表面自动清洗装置 [P].

李国刚 .

中国专利 :CN206340527U ,2017-07-18

[2]

硅片表面清洗装置 [P].

黄于于 .

中国专利 :CN207250472U ,2018-04-17

[3]

一种硅片表面污染清洗装置 [P].

郑松 ;

余江湖 ;

刘君 .

中国专利 :CN223405526U ,2025-10-03

[4]

一种硅片花篮的自动清洗装置 [P].

胡亚洲 ;

王震 ;

宋文祥 ;

李海波 ;

段高武 ;

乐雄英 ;

王瑞峰 .

中国专利 :CN217094746U ,2022-08-02

[5]

一种用于硅片的表面清洗装置 [P].

雷杰 ;

周炜 ;

王庆钱 ;

杨大谊 ;

周璁 .

中国专利 :CN214022332U ,2021-08-24

[6]

一种硅片表面清洗装置 [P].

陈锋 ;

沈国君 ;

陆勇 ;

刘太盛 .

中国专利 :CN214378342U ,2021-10-08

[7]

一种高纯硅片自动清洗装置 [P].

马瑜辉 .

中国专利 :CN211888210U ,2020-11-10

[8]

一种硅片清洗装置、硅片清洗方法以及硅片存放车 [P].

赵晟佑 .

中国专利 :CN110479685A ,2019-11-22

[9]

一种硅片表面清洗方法及清洗液 [P].

卞梁 ;

潘连胜 ;

秦朗 .

中国专利 :CN114101193A ,2022-03-01

[10]

一种硅片清洗装置 [P].

高鹏 ;

王岩 ;

王永青 ;

李建弘 ;

王建平 ;

郭志荣 ;

王冬雪 .

中国专利 :CN207254859U ,2018-04-20

← 1 2 3 4 5 →