一种高纯硅片自动清洗装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201922409119.5

申请日：

2019-12-28

公开(公告)号：

CN211888210U

公开(公告)日：

2020-11-10

发明(设计)人：

马瑜辉

申请人：

申请人地址：

441000 湖北省襄阳市高新区团山镇鏖战岗路36号5幢办公楼101室

IPC主分类号：

B08B312

IPC分类号：

B08B310 G01D2102

代理机构：

武汉蓝宝石专利代理事务所(特殊普通合伙) 42242

代理人：

谢洋

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-11-10	授权	授权
2022-01-28	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):B08B 3/12 登记生效日:20220117 变更事项:专利权人变更前权利人:襄阳三圭电子有限公司变更后权利人:襄阳朗润电气有限公司变更事项:地址变更前权利人:441000 湖北省襄阳市高新区团山镇鏖战岗路36号5幢办公楼101室变更后权利人:441000 湖北省襄阳市樊城区大庆东路7号

共 50 条

[1]

硅片自动清洗装置 [P].

孙铁囤 ;

姚伟忠 ;

汤平 .

中国专利 :CN206483772U ,2017-09-12

[2]

一种硅片花篮的自动清洗装置 [P].

胡亚洲 ;

王震 ;

宋文祥 ;

李海波 ;

段高武 ;

乐雄英 ;

王瑞峰 .

中国专利 :CN217094746U ,2022-08-02

[3]

硅片自动清洗装置 [P].

孙铁囤 ;

姚伟忠 ;

汤平 .

中国专利 :CN106733917B ,2017-05-31

[4]

一种硅片花篮的自动清洗装置 [P].

王丽婷 ;

刘海涛 ;

许伟 ;

谢文君 .

中国专利 :CN209272034U ,2019-08-20

[5]

一种硅片清洗机用硅片清洗装置 [P].

王志腾 ;

黄婷婷 ;

古再丽努尔·麦麦提尼亚孜 ;

夏村村 ;

钟喜琳 .

中国专利 :CN217017714U ,2022-07-22

[6]

一种生姜自动清洗装置 [P].

朱金波 ;

张晓鹃 ;

朱发太 ;

马桂梅 .

中国专利 :CN216627424U ,2022-05-31

[7]

一种晶体自动清洗装置 [P].

李卫超 ;

胡德勇 .

中国专利 :CN206064916U ,2017-04-05

[8]

一种高纯石英砂自动逆流动态清洗装置 [P].

尚德兴 ;

段树桐 ;

陈志强 ;

李佩悦 ;

吴建新 ;

石倩倩 ;

魏光耀 .

中国专利 :CN207887573U ,2018-09-21

[9]

一种用于硅片的表面清洗装置 [P].

雷杰 ;

周炜 ;

王庆钱 ;

杨大谊 ;

周璁 .

中国专利 :CN214022332U ,2021-08-24

[10]

一种硅片表面自动清洗装置 [P].

李国刚 .

中国专利 :CN206340527U ,2017-07-18

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