一种高纯硅片自动清洗装置

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN201922409119.5
申请日
2019-12-28
公开(公告)号
CN211888210U
公开(公告)日
2020-11-10
发明(设计)人
马瑜辉
申请人
申请人地址
441000 湖北省襄阳市高新区团山镇鏖战岗路36号5幢办公楼101室
IPC主分类号
B08B312
IPC分类号
B08B310 G01D2102
代理机构
武汉蓝宝石专利代理事务所(特殊普通合伙) 42242
代理人
谢洋
法律状态
授权
国省代码
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