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一种高纯硅片自动清洗装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201922409119.5
申请日：
2019-12-28
公开(公告)号：
CN211888210U
公开(公告)日：
2020-11-10
发明(设计)人：
马瑜辉
申请人：
申请人地址：
441000 湖北省襄阳市高新区团山镇鏖战岗路36号5幢办公楼101室
IPC主分类号：
B08B312
IPC分类号：
B08B310
G01D2102
代理机构：
武汉蓝宝石专利代理事务所(特殊普通合伙) 42242
代理人：
谢洋
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-11-10 | 授权 | 授权 |
| 2022-01-28 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 IPC(主分类):B08B 3/12 登记生效日:20220117 变更事项:专利权人 变更前权利人:襄阳三圭电子有限公司 变更后权利人:襄阳朗润电气有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:441000 湖北省襄阳市高新区团山镇鏖战岗路36号5幢办公楼101室 变更后权利人:441000 湖北省襄阳市樊城区大庆东路7号 |