清洗液液位检测

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910138611.5

申请日：

2019-02-25

公开(公告)号：

CN110207718A

公开(公告)日：

2019-09-06

发明(设计)人：

马哈茂德·尤瑟夫·加纳姆布兰登·希克斯文卡特什·克里希南大卫·J·施密特

申请人：

申请人地址：

美国密歇根州迪尔伯恩市

IPC主分类号：

G01C2136

IPC分类号：

B60S148

代理机构：

北京连和连知识产权代理有限公司 11278

代理人：

刘小峰

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-09-06	公开	公开
2021-03-12	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01C 21/36 申请日:20190225

共 50 条

[1]

一种槽体内硅片清洗液位检测与放液机构 [P].

靳立辉 ;

王毅 ;

丁天时 ;

李天华 .

中国专利 :CN218395212U ,2023-01-31

[2]

清洗液过滤装置 [P].

沈建新 .

中国专利 :CN208049517U ,2018-11-06

[3]

一种清洗液液路系统 [P].

苏深广 ;

张鹏 .

中国专利 :CN202343486U ,2012-07-25

[4]

清洗液检测装置 [P].

金炯剟 ;

郑有善 .

中国专利 :CN215910055U ,2022-02-25

[5]

李盈壕 ;

吕志鹏 .

中国专利 :CN1646732A ,2005-07-27

[6]

井合隆 .

中国专利 :CN110709178A ,2020-01-17

[7]

户田和昭 .

中国专利 :CN109312274A ,2019-02-05

[8]

古旗朝隆 .

中国专利 :CN102387925A ,2012-03-21

[9]

井合隆 .

中国专利 :CN111373025A ,2020-07-03

[10]

张凌燕 ;

王川 ;

马洪超 ;

田君喜 ;

龙腾镶 .

中国专利 :CN107118865A ,2017-09-01

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