一种槽体内硅片清洗液位检测与放液机构

被引：0

申请号：

CN202221490404.X

申请日：

2022-06-15

公开(公告)号：

CN218395212U

公开(公告)日：

2023-01-31

发明(设计)人：

靳立辉王毅丁天时李天华

申请人：

申请人地址：

300384 天津市滨海新区华苑产业区华科大街1号

IPC主分类号：

B08B1300

IPC分类号：

B08B302 B08B308 B08B310 H01L2167

代理机构：

天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213

代理人：

栾志超

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2023-01-31	授权	授权

共 50 条

[1]

清洗液液位检测 [P].

马哈茂德·尤瑟夫·加纳姆 ;

布兰登·希克斯 ;

文卡特什·克里希南 ;

大卫·J·施密特 .

中国专利 :CN110207718A ,2019-09-06

[2]

一种硅片清洗液 [P].

聂金根 .

中国专利 :CN102533470A ,2012-07-04

[3]

一种硅片清洗液 [P].

张小飞 .

中国专利 :CN107987982A ,2018-05-04

[4]

一种硅片清洗液及使用该清洗液清洗硅片的方法 [P].

肖剑峰 ;

张晨 ;

吴叶军 ;

周体 .

中国专利 :CN101942365A ,2011-01-12

[5]

一种清洗液液路系统 [P].

苏深广 ;

张鹏 .

中国专利 :CN202343486U ,2012-07-25

[6]

一种硅片清洗液回收装置 [P].

李培培 ;

赵时红 ;

史彪 ;

鲁立平 ;

胡玖益 ;

杨代权 ;

纪民举 ;

任海江 .

中国专利 :CN223009937U ,2025-06-24

[7]

一种硅片清洗液及硅片清洗方法 [P].

刘长明 ;

金井升 ;

张昕宇 ;

金浩 .

中国专利 :CN108384667A ,2018-08-10

[8]

一种硅片清洗液配方 [P].

崔敏娟 .

中国专利 :CN107557173A ,2018-01-09

[9]

一种环保硅片清洗液 [P].

张小飞 .

中国专利 :CN117821169A ,2024-04-05

[10]

一种硅片清洗液循环系统 [P].

信广志 ;

冯艳红 ;

韩萍 .

中国专利 :CN210006704U ,2020-01-31

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