一种硅片清洗液回收装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202421940767.8

申请日：

2024-08-12

公开(公告)号：

CN223009937U

公开(公告)日：

2025-06-24

发明(设计)人：

李培培赵时红史彪鲁立平胡玖益杨代权纪民举任海江

申请人：

上海亿钶气体股份有限公司

申请人地址：

200333 上海市普陀区同普路1030号1号楼2楼东侧01室

IPC主分类号：

B01D29/03

IPC分类号：

B01D29/56

代理机构：

杭州九洲专利事务所有限公司 33101

代理人：

翁玮

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-06-24	授权	授权

共 50 条

[1]

硅片清洗液 [P].

王禄宝 ;

王海庆 ;

王友 ;

路景刚 .

中国专利 :CN103695190B ,2014-04-02

[2]

清洗液回收装置 [P].

曹三星 ;

李雷忠 ;

张华杰 ;

廖德华 ;

周景前 ;

李建柏 ;

吕强 ;

赵忠义 .

中国专利 :CN210023074U ,2020-02-07

[3]

空罐清洗液回收系统 [P].

李奇 .

中国专利 :CN205966697U ,2017-02-22

[4]

清洗液回收再利用系统 [P].

李奇 .

中国专利 :CN206122282U ,2017-04-26

[5]

一种清洗液回收装置 [P].

于团结 ;

孟雷 ;

艾长军 ;

靳昭军 ;

李海 ;

谷继品 ;

孙刚 ;

杨孔雳 ;

王渊渊 ;

梁慎永 ;

甘谛 .

中国专利 :CN205550986U ,2016-09-07

[6]

一种清洗液回收装置 [P].

范泽辉 .

中国专利 :CN209967874U ,2020-01-21

[7]

一种硅片清洗液 [P].

聂金根 .

中国专利 :CN102533470A ,2012-07-04

[8]

一种硅片清洗液 [P].

张小飞 .

中国专利 :CN107987982A ,2018-05-04

[9]

一种硅片清洗液回收再利用装置 [P].

陈铭 ;

王艺澄 ;

吴纪清 ;

张铭 ;

刘福杰 ;

季梦夏 ;

许晖 .

中国专利 :CN120079155A ,2025-06-03

[10]

一种化工管道清洗液回收装置 [P].

王选明 ;

王枫 ;

刘燕 .

中国专利 :CN212594445U ,2021-02-26

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