一种硅片清洗液

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201711128234.4

申请日：

2017-11-15

公开(公告)号：

CN107987982A

公开(公告)日：

2018-05-04

发明(设计)人：

张小飞

申请人：

申请人地址：

213100 江苏省常州市武进区潞城街道富民路299号

IPC主分类号：

C11D172

IPC分类号：

C11D360 C11D328 C11D320 C11D304

代理机构：

常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙) 32258

代理人：

王美华;任晓岚

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-06-01	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C11D 1/72 申请日:20171115
2021-02-12	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C11D 1/72 申请公布日:20180504
2018-05-04	公开	公开

共 50 条

[1]

一种硅片清洗液 [P].

聂金根 .

中国专利 :CN102533470A ,2012-07-04

[2]

一种硅片清洗液及硅片清洗方法 [P].

刘长明 ;

金井升 ;

张昕宇 ;

金浩 .

中国专利 :CN108384667A ,2018-08-10

[3]

一种双组份硅片清洗液 [P].

张小飞 .

中国专利 :CN111286415A ,2020-06-16

[4]

一种硅片清洗液及使用该清洗液清洗硅片的方法 [P].

肖剑峰 ;

张晨 ;

吴叶军 ;

周体 .

中国专利 :CN101942365A ,2011-01-12

[5]

硅片清洗液及其清洗方法 [P].

李杰 .

中国专利 :CN101503650A ,2009-08-12

[6]

硅片清洗添加剂、硅片清洗液及其应用 [P].

陈盼盼 ;

于胤 ;

杨勇 ;

章圆圆 .

中国专利 :CN112143590A ,2020-12-29

[7]

硅片清洗液 [P].

王禄宝 ;

王海庆 ;

王友 ;

路景刚 .

中国专利 :CN103695190B ,2014-04-02

[8]

一种环保硅片清洗液 [P].

张小飞 .

中国专利 :CN117821169A ,2024-04-05

[9]

一种新型特效硅片清洗液 [P].

聂金根 .

中国专利 :CN104498209A ,2015-04-08

[10]

一种新型特效硅片清洗液制备方法 [P].

聂金根 .

中国专利 :CN104498208A ,2015-04-08

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