一种硅片清洗液及使用该清洗液清洗硅片的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201010121960.5

申请日：

2010-03-10

公开(公告)号：

CN101942365A

公开(公告)日：

2011-01-12

发明(设计)人：

肖剑峰张晨吴叶军周体

申请人：

申请人地址：

315040 浙江省宁波市高新区星光路211号

IPC主分类号：

C11D726

IPC分类号：

C11D714 B08B308

代理机构：

宁波奥圣专利代理事务所(普通合伙) 33226

代理人：

程晓明

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-01-12	公开	公开
2013-11-27	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101675940058 IPC(主分类):C11D 7/26 专利申请号:2010101219605 申请公布日:20110112
2011-06-29	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101081912561 IPC(主分类):C11D 7/26 专利申请号:2010101219605 申请日:20100310

共 50 条

[1]

硅片清洗液及其清洗方法 [P].

李杰 .

中国专利 :CN101503650A ,2009-08-12

[2]

硅片清洗液 [P].

王禄宝 ;

王海庆 ;

王友 ;

路景刚 .

中国专利 :CN103695190B ,2014-04-02

[3]

一种硅片清洗液及硅片清洗方法 [P].

刘长明 ;

金井升 ;

张昕宇 ;

金浩 .

中国专利 :CN108384667A ,2018-08-10

[4]

一种硅片清洗液 [P].

聂金根 .

中国专利 :CN102533470A ,2012-07-04

[5]

一种硅片清洗液 [P].

张小飞 .

中国专利 :CN107987982A ,2018-05-04

[6]

硅片清洗添加剂、硅片清洗液及其应用 [P].

陈盼盼 ;

于胤 ;

杨勇 ;

章圆圆 .

中国专利 :CN112143590A ,2020-12-29

[7]

清洗液盒及使用该清洗液盒的清洗方法 [P].

三浦淳靖 ;

新庄淳一 .

中国专利 :CN109564863A ,2019-04-02

[8]

一种清洗液以及使用该清洗液的清洗工艺 [P].

李鹰彪 ;

李帅 .

中国专利 :CN103834482B ,2014-06-04

[9]

一种硅片清洗液配方 [P].

崔敏娟 .

中国专利 :CN107557173A ,2018-01-09

[10]

一种环保硅片清洗液 [P].

张小飞 .

中国专利 :CN117821169A ,2024-04-05

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