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一维光栅位移测量装置
被引:0
申请号
:
CN202210675050.4
申请日
:
2022-06-15
公开(公告)号
:
CN114877811A
公开(公告)日
:
2022-08-09
发明(设计)人
:
李文昊
刘兆武
吉日嘎兰图
尹云飞
王玮
周文渊
刘林
申请人
:
申请人地址
:
130033 吉林省长春市经济技术开发区东南湖大路3888号
IPC主分类号
:
G01B1102
IPC分类号
:
代理机构
:
长春中科长光知识产权代理事务所(普通合伙) 22218
代理人
:
郭婷
法律状态
:
实质审查的生效
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2022-08-26
实质审查的生效
实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 11/02 申请日:20220615
2022-08-09
公开
公开
共 50 条
[1]
零差一维光栅位移测量装置
[P].
吉日嘎兰图
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0
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吉日嘎兰图
;
尹云飞
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尹云飞
;
李文昊
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李文昊
;
刘兆武
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刘兆武
;
王玮
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王玮
.
中国专利
:CN112484646A
,2021-03-12
[2]
二维光栅位移测量装置
[P].
李文昊
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李文昊
;
刘兆武
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刘兆武
;
吉日嘎兰图
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吉日嘎兰图
;
尹云飞
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尹云飞
;
王玮
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王玮
;
周文渊
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周文渊
;
白宇
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白宇
.
中国专利
:CN115046482A
,2022-09-13
[3]
光栅位移测量装置
[P].
刘逍
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机构:
上海微电子装备(集团)股份有限公司
上海微电子装备(集团)股份有限公司
刘逍
;
刁雷
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机构:
上海微电子装备(集团)股份有限公司
上海微电子装备(集团)股份有限公司
刁雷
;
王欣怡
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机构:
上海微电子装备(集团)股份有限公司
上海微电子装备(集团)股份有限公司
王欣怡
;
王鑫伟
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机构:
上海微电子装备(集团)股份有限公司
上海微电子装备(集团)股份有限公司
王鑫伟
;
于大维
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机构:
上海微电子装备(集团)股份有限公司
上海微电子装备(集团)股份有限公司
于大维
;
蓝科
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机构:
上海微电子装备(集团)股份有限公司
上海微电子装备(集团)股份有限公司
蓝科
.
中国专利
:CN117367286A
,2024-01-09
[4]
外差一维光栅位移测量装置
[P].
吉日嘎兰图
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吉日嘎兰图
;
尹云飞
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尹云飞
;
李文昊
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李文昊
;
刘兆武
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刘兆武
;
刘林
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刘林
;
白宇
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白宇
.
中国专利
:CN112504131B
,2021-03-16
[5]
一种新型的基于一维光栅的干涉位移测量装置
[P].
周常河
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周常河
;
刘炜程
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刘炜程
;
贾伟
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贾伟
;
王津
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王津
.
中国专利
:CN114935311A
,2022-08-23
[6]
光栅干涉位移测量装置
[P].
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机构:
叶伟楠
;
论文数:
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机构:
张鸣
;
曾红健
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机构:
清华大学
清华大学
曾红健
;
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机构:
王磊杰
;
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机构:
朱煜
;
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机构:
成荣
;
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机构:
李鑫
.
中国专利
:CN120313490A
,2025-07-15
[7]
光栅位移测量装置
[P].
陈凯
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机构:
深圳市汇川技术股份有限公司
深圳市汇川技术股份有限公司
陈凯
.
中国专利
:CN223741493U
,2025-12-30
[8]
光栅位移测量装置
[P].
李振雄
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李振雄
;
李长生
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李长生
.
中国专利
:CN201059961Y
,2008-05-14
[9]
光栅位移测量装置
[P].
任绍卿
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任绍卿
;
张荔萍
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张荔萍
;
王卫东
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王卫东
.
中国专利
:CN203163691U
,2013-08-28
[10]
光栅位移测量装置
[P].
王春海
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王春海
;
张国雄
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张国雄
;
郭尚旗
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郭尚旗
.
中国专利
:CN1146551A
,1997-04-02
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