光栅干涉位移测量装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510376092.1

申请日：

2025-03-27

公开(公告)号：

CN120313490A

公开(公告)日：

2025-07-15

发明(设计)人：

叶伟楠张鸣曾红健王磊杰朱煜成荣李鑫

申请人：

清华大学

申请人地址：

100084 北京市海淀区清华园

IPC主分类号：

G01B11/02

IPC分类号：

G01B9/02001 G01B9/02015 G01B9/02055

代理机构：

北京路浩知识产权代理有限公司 11002

代理人：

曹倩

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

北京市市辖区

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-08-01	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G01B 11/02申请日:20250327
2025-07-15	公开	公开

共 50 条

[1]

光栅干涉型位移测量装置 [P].

大崎基弘 ;

富谷雅树 .

中国专利 :CN1215308C ,2003-09-10

[2]

一维光栅位移测量装置 [P].

李文昊 ;

刘兆武 ;

吉日嘎兰图 ;

尹云飞 ;

王玮 ;

周文渊 ;

刘林 .

中国专利 :CN114877811A ,2022-08-09

[3]

一种基于偏振分束光栅的干涉位移测量装置 [P].

贾伟 ;

王奕涵 ;

陈昱达 ;

王津 ;

周常河 .

中国专利 :CN116007503B ,2025-11-28

[4]

干涉式位移测量装置 [P].

阿米恩·赖希奥尔德 ;

彼得·丘 ;

赵崧源 ;

埃德加·布鲁克 .

英国专利 :CN117677817A ,2024-03-08

[5]

外差光栅位移测量装置 [P].

李文昊 ;

刘兆武 ;

姚雪峰 ;

王玮 ;

吉日嘎兰图 ;

于宏柱 ;

白宇 .

中国专利 :CN112097647B ,2020-12-18

[6]

外差一维光栅位移测量装置 [P].

吉日嘎兰图 ;

尹云飞 ;

李文昊 ;

刘兆武 ;

刘林 ;

白宇 .

中国专利 :CN112504131B ,2021-03-16

[7]

二维光栅位移测量装置 [P].

李文昊 ;

刘兆武 ;

吉日嘎兰图 ;

尹云飞 ;

王玮 ;

周文渊 ;

白宇 .

中国专利 :CN115046482A ,2022-09-13

[8]

一种新型的基于一维光栅的干涉位移测量装置 [P].

周常河 ;

刘炜程 ;

贾伟 ;

王津 .

中国专利 :CN114935311A ,2022-08-23

[9]

光栅位移测量装置 [P].

李振雄 ;

李长生 .

中国专利 :CN201059961Y ,2008-05-14

[10]

光栅位移测量装置 [P].

刘逍 ;

刁雷 ;

王欣怡 ;

王鑫伟 ;

于大维 ;

蓝科 .

中国专利 :CN117367286A ,2024-01-09

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