可持续供应MO源的装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410168822.0

申请日：

2014-04-25

公开(公告)号：

CN103924218A

公开(公告)日：

2014-07-16

发明(设计)人：

俞冬雷武利曙徐昕

申请人：

申请人地址：

241009 安徽省芜湖市经济技术开发区管委会三楼

IPC主分类号：

C23C16455

IPC分类号：

代理机构：

南京正联知识产权代理有限公司 32243

代理人：

沈志海

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-09-10	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101586880446 IPC(主分类):C23C 16/455 专利申请号:2014101688220 申请日:20140425
2016-10-19	授权	授权
2014-07-16	公开	公开

共 50 条

[1]

可持续供应MO源的装置 [P].

俞冬雷 ;

武利曙 ;

徐昕 .

中国专利 :CN203846102U ,2014-09-24

[2]

一种MO源持续供应装置 [P].

俞冬雷 ;

宣宗亮 ;

周伟 ;

刘涛 .

中国专利 :CN118932313A ,2024-11-12

[3]

一种MO源供应装置 [P].

顾宏伟 ;

茅嘉原 ;

严金林 ;

邓辉 .

中国专利 :CN109852948A ,2019-06-07

[4]

一种MO源供应装置 [P].

顾宏伟 ;

茅嘉原 ;

严金林 ;

邓辉 .

中国专利 :CN209702860U ,2019-11-29

[5]

一种MO源供应装置 [P].

顾宏伟 ;

茅嘉原 ;

严金林 ;

邓辉 .

中国专利 :CN109852948B ,2024-04-12

[6]

可自动补充MO源的装置 [P].

俞冬雷 ;

武利曙 ;

徐昕 .

中国专利 :CN203847995U ,2014-09-24

[7]

可自动补充MO源的装置 [P].

俞冬雷 ;

武利曙 ;

徐昕 .

中国专利 :CN103924219B ,2014-07-16

[8]

直接充装MO源的装置 [P].

俞冬雷 ;

武利曙 ;

徐昕 .

中国专利 :CN103922257A ,2014-07-16

[9]

直接充装MO源的装置 [P].

俞冬雷 ;

武利曙 ;

徐昕 .

中国专利 :CN203890029U ,2014-10-22

[10]

一种用于MOCVD设备的MO源供给系统管路 [P].

张念站 ;

李晓东 ;

崔德国 .

中国专利 :CN203878209U ,2014-10-15

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