一种氧化镓单晶用的研磨垫及其制备方法

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专利类型
发明
申请号
CN201610649903.1
申请日
2016-08-10
公开(公告)号
CN106272035A
公开(公告)日
2017-01-04
发明(设计)人
黄传锦 周海 顾斌 徐晓明 龚凯
申请人
申请人地址
224051 江苏省盐城市希望大道中路1号
IPC主分类号
B24B3722
IPC分类号
B24B3724 B24D1800
代理机构
南京经纬专利商标代理有限公司 32200
代理人
楼高潮
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
氧化镓单晶用研磨装置 [P]. 
贾立炳 ;
魏恽隆 ;
田京生 ;
纪晋岗 ;
魏爽 .
中国专利 :CN212632935U ,2021-03-02
[2]
一种氧化镓单晶用研磨装置 [P]. 
何卫 ;
吕清振 ;
林小小 .
中国专利 :CN114130504A ,2022-03-04
[3]
氧化镓单晶制备方法 [P]. 
张胜男 ;
霍晓青 ;
王英民 ;
王喆垚 ;
周金杰 ;
董增印 ;
李晖 ;
张嵩 ;
程红娟 .
中国专利 :CN119221101A ,2024-12-31
[4]
一种氧化镓单晶片的制备方法 [P]. 
不公告发明人 .
中国专利 :CN114012917A ,2022-02-08
[5]
一种氧化镓单晶片的制备方法 [P]. 
请求不公布姓名 ;
请求不公布姓名 .
中国专利 :CN114012917B ,2024-10-15
[6]
一种具有筛分结构的氧化镓单晶用研磨装置 [P]. 
黄成 ;
商龙梅 .
中国专利 :CN221360152U ,2024-07-19
[7]
一种氧化镓单晶片加工用CMP抛光液及其制备方法 [P]. 
郭晨丽 ;
李保龙 .
中国专利 :CN115386301A ,2022-11-25
[8]
一种氧化镓单晶研磨用辅助进料装置 [P]. 
尉世鹏 ;
严海峰 ;
吴新功 ;
贾立炳 .
中国专利 :CN223098908U ,2025-07-15
[9]
一种氧化镓单晶的生长装置及氧化镓单晶生长方法 [P]. 
刘进 .
中国专利 :CN117626405A ,2024-03-01
[10]
一种用于加工软脆性晶体材料的研磨垫及其制备方法 [P]. 
黄传锦 ;
周海 ;
顾斌 ;
徐晓明 ;
龚凯 .
中国专利 :CN106272034A ,2017-01-04