一种相变材料化学机械抛光设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202120204856.6

申请日：

2021-01-26

公开(公告)号：

CN214322940U

公开(公告)日：

2021-10-01

发明(设计)人：

熊德博姜洋吴凤瑛周亚郭梦晓

申请人：

申请人地址：

250101 山东省济南市历城区凤鸣路1000号山东建筑大学

IPC主分类号：

B24B2900

IPC分类号：

B24B4106 B24B4100

代理机构：

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法律状态：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-10-01	授权	授权

共 50 条

[1]

一种相变材料化学机械抛光设备 [P].

李品华 .

中国专利 :CN211136736U ,2020-07-31

[2]

一种相变材料化学机械抛光设备 [P].

李东平 .

中国专利 :CN204565845U ,2015-08-19

[3]

化学机械抛光设备 [P].

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN221621863U ,2024-08-30

[4]

一种相变材料化学机械抛光方法 [P].

何敖东 ;

宋志棠 ;

刘波 ;

王良咏 ;

刘卫丽 .

中国专利 :CN103497688B ,2014-01-08

[5]

化学机械抛光方法和化学机械抛光设备 [P].

邵群 ;

王庆玲 .

中国专利 :CN103035504B ,2013-04-10

[6]

化学机械抛光设备及化学机械抛光方法 [P].

朱慧珑 ;

钟汇才 ;

梁擎擎 ;

赵超 .

中国专利 :CN102756323A ,2012-10-31

[7]

化学机械抛光设备和化学机械抛光方法 [P].

唐强 .

中国专利 :CN108115553A ,2018-06-05

[8]

化学机械抛光设备与化学机械抛光工艺 [P].

胡俊汀 ;

谢祖怡 ;

曾子育 ;

郭永杰 ;

白弘吉 .

中国专利 :CN1986157A ,2007-06-27

[9]

化学机械抛光设备及化学机械抛光方法 [P].

李洪阳 ;

陈映松 ;

许振杰 ;

李长坤 ;

王科 .

中国专利 :CN120134207B ,2025-08-19

[10]

化学机械抛光设备及化学机械抛光方法 [P].

李洪阳 ;

陈映松 ;

许振杰 ;

李长坤 ;

王科 .

中国专利 :CN120862551A ,2025-10-31

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