蒸气清洗方式的半导体元件清洗机

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN200920097280.7

申请日：

2009-06-23

公开(公告)号：

CN201454903U

公开(公告)日：

2010-05-12

发明(设计)人：

吴永清

申请人：

申请人地址：

中国台湾

IPC主分类号：

B08B300

IPC分类号：

H05F300

代理机构：

天津三元专利商标代理有限责任公司 12203

代理人：

郑永康

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-06-14	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B08B 3/00 申请日:20090623 授权公告日:20100512 终止日期:20180623
2010-05-12	授权	授权

共 50 条

[1]

半导体元件清洗机 [P].

吴永清 .

中国专利 :CN2889529Y ,2007-04-18

[2]

半导体清洗机 [P].

李荣发 .

中国专利 :CN205645768U ,2016-10-12

[3]

一种半导体元件加工用清洗机 [P].

周海生 ;

蒋振荣 ;

鲁亮宇 .

中国专利 :CN220497153U ,2024-02-20

[4]

半导体清洗机 [P].

夏红兵 .

中国专利 :CN218049245U ,2022-12-16

[5]

半导体氟系清洗机 [P].

卢加傲 ;

张远东 ;

张欣欣 ;

刘展波 ;

梁长江 ;

熊盼龙 ;

沈祖明 ;

闵元元 .

中国专利 :CN207413915U ,2018-05-29

[6]

清洗半导体元件的方法 [P].

苏水金 .

中国专利 :CN106206247A ,2016-12-07

[7]

半导体激光清洗机 [P].

王峙皓 ;

丁宝君 ;

王传术 ;

甘露 .

中国专利 :CN201135982Y ,2008-10-22

[8]

一种半导体清洗机 [P].

朱耿森 ;

蔡丽虹 ;

朱和亮 .

中国专利 :CN220541590U ,2024-02-27

[9]

半导体晶圆除尘清洗机 [P].

赵峰 .

中国专利 :CN214078171U ,2021-08-31

[10]

蒸气清洗机 [P].

许培振 .

中国专利 :CN2693359Y ,2005-04-20

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