一种铜互连结构的制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110340740.6

申请日：

2011-11-02

公开(公告)号：

CN103094193B

公开(公告)日：

2013-05-08

发明(设计)人：

周鸣

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

H01L21768

IPC分类号：

C23C1838 C23C1840

代理机构：

北京市磐华律师事务所 11336

代理人：

董巍;顾珊

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-06-12	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101468531710 IPC(主分类):H01L 21/768 专利申请号:2011103407406 申请日:20111102
2013-05-08	公开	公开
2016-04-06	授权	授权

共 50 条

[1]

一种铜互连结构的制造方法 [P].

鲍宇 .

中国专利 :CN103094184A ,2013-05-08

[2]

铜互连结构及其制造方法 [P].

杨智超 ;

M.A.伯根达尔 ;

D.V.霍勒克 ;

李保振 ;

S.波诺思 .

中国专利 :CN103811464B ,2014-05-21

[3]

铜互连结构的制造方法 [P].

薛兴坤 ;

李新磊 ;

王鹏飞 ;

韩岩岩 ;

于卫国 .

中国专利 :CN114783946A ,2022-07-22

[4]

一种铜互连结构的制造方法 [P].

艾璞 ;

李秋茂 ;

林昭宏 .

中国专利 :CN120300069A ,2025-07-11

[5]

铜互连结构的制作方法 [P].

陈玉文 ;

黄晓橹 ;

谢欣云 .

中国专利 :CN102324401B ,2012-01-18

[6]

互连结构的制造方法 [P].

何其旸 ;

张翼英 .

中国专利 :CN102693935A ,2012-09-26

[7]

铜互连结构及铜互连结构的制作方法 [P].

周鸣 .

中国专利 :CN104037160B ,2014-09-10

[8]

一种铜互连结构及其制造方法 [P].

曾绍海 .

中国专利 :CN102915958A ,2013-02-06

[9]

一种铜互连结构及其制造方法 [P].

曾绍海 ;

李铭 .

中国专利 :CN107256845A ,2017-10-17

[10]

一种铜互连结构及其制造方法 [P].

钟旻 .

中国专利 :CN105355620A ,2016-02-24

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