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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2017-04-26 | 授权 | 授权 |
| 2015-09-09 | 公开 | 公开 |
| 2015-10-07 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101628124094 IPC(主分类):C23C 18/12 专利申请号:2015102387282 申请日:20150512 |