抛光衬垫、制造抛光衬垫的方法以及抛光系统和抛光方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200810129234.0

申请日：

2003-07-23

公开(公告)号：

CN101310929B

公开(公告)日：

2008-11-26

发明(设计)人：

B·A·斯威德克 M·比兰恩

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

B24D1314

IPC分类号：

B24B2900 H01L21304

代理机构：

北京纪凯知识产权代理有限公司 11245

代理人：

赵蓉民

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2010-06-23	授权	授权
2008-11-26	公开	公开
2015-09-09	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101624599188 IPC(主分类):B24D 13/14 专利号:ZL2008101292340 申请日:20030723 授权公告日:20100623 终止日期:20140723
2009-01-21	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

抛光方法及抛光系统 [P].

何昆哲 .

中国专利 :CN120901836A ,2025-11-07

[2]

抛光工具、抛光系统和抛光方法 [P].

S·松佐尼 .

:CN118234596A ,2024-06-21

[3]

抛光制品、抛光系统和抛光方法 [P].

陈联舜 ;

詹姆斯·P·伯克 ;

贾斯廷·W·勒巴肯 .

中国专利 :CN114599482A ,2022-06-07

[4]

抛光系统和抛光方法 [P].

林士琦 ;

吴坤泰 ;

周友华 ;

李志聪 ;

洪敏皓 ;

吴志仁 ;

黄振铭 ;

黃循康 ;

詹金祥 ;

杨智渊 .

中国专利 :CN103846770A ,2014-06-11

[5]

抛光垫、抛光系统以及制造该抛光垫的方法 [P].

波格丹·斯韦德克 ;

大卫·J·利斯卡 ;

杰弗里·德鲁·大卫 ;

多米尼克·J·本维努 .

中国专利 :CN100548581C ,2007-04-04

[6]

自动抛光系统及其抛光方法 [P].

周雪峰 ;

李凯格 ;

莫庆龙 ;

程韬波 ;

徐永谦 ;

罗俏 .

中国专利 :CN104275638B ,2015-01-14

[7]

抛光方法及抛光系统 [P].

林岳明 .

中国专利 :CN117891138A ,2024-04-16

[8]

抛光系统及抛光方法 [P].

梁焰 ;

岳兴 ;

李安庭 .

中国专利 :CN112872916A ,2021-06-01

[9]

一种抛光模组、抛光单元、抛光系统和抛光方法 [P].

王春龙 ;

徐海洋 ;

许振杰 ;

赵德文 .

中国专利 :CN117415724A ,2024-01-19

[10]

抛光系统以及制备和使用抛光系统的方法 [P].

约翰·J·加戈里亚迪 ;

埃里克·C·科德 ;

保罗·S·勒格 .

中国专利 :CN108603076A ,2018-09-28

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