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离子注入剂量的测量装置及其测量方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201910189275.7
申请日：
2019-03-13
公开(公告)号：
CN109887858A
公开(公告)日：
2019-06-14
发明(设计)人：
杨健
李岩
马富林
申请人：
申请人地址：
223302 江苏省淮安市淮阴区长江东路599号
IPC主分类号：
H01L2166
IPC分类号：
代理机构：
北京集佳知识产权代理有限公司 11227
代理人：
武振华;吴敏
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-07-09 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/66 申请日:20190313 |
| 2019-06-14 | 公开 | 公开 |
| 2021-05-11 | 发明专利申请公布后的视为撤回 | 发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L 21/66 申请公布日:20190614 |