在线式高纯度化学品加热器

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专利类型
发明
申请号
CN201980033631.4
申请日
2019-04-12
公开(公告)号
CN112136359A
公开(公告)日
2020-12-25
发明(设计)人
霍华德·J·贝斯 德里克·L·萨尼斯罗
申请人
申请人地址
美国俄亥俄州
IPC主分类号
H05B358
IPC分类号
代理机构
北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112
代理人
顾红霞;龙涛峰
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
半导体芯片生产用化学品在线加热器 [P]. 
陈景韶 .
中国专利 :CN205430635U ,2016-08-03
[2]
一种滤芯式化学品加热器 [P]. 
王佳伟 ;
张雨 .
中国专利 :CN214120413U ,2021-09-03
[3]
一种高纯度在线加热器 [P]. 
宋万菲 ;
宋平 ;
胡庆红 .
中国专利 :CN222088546U ,2024-11-29
[4]
用于半导体湿法工艺中的化学品在线加热器 [P]. 
王静强 ;
黄锡钦 .
中国专利 :CN209930536U ,2020-01-10
[5]
用于处理和用于运输高纯度和超高纯度化学品的容器 [P]. 
E.米 ;
H.劳莱德尔 ;
B.诺维茨基 ;
H.克莱因 .
中国专利 :CN104185602A ,2014-12-03
[6]
现场超高纯度化学品或气体的纯化 [P]. 
T·E·康威 ;
V·Y·格施泰恩 ;
J·A·霍普金斯 ;
B·M·林登穆斯 ;
T·M·布斯 .
中国专利 :CN104043381B ,2014-09-17
[7]
一种半导体芯片生产用化学品在线加热器 [P]. 
郭家宏 .
中国专利 :CN207720428U ,2018-08-10
[8]
用于储存高纯度液体化学品的容器 [P]. 
吕学营 ;
张家华 ;
黄国雄 ;
田欧特 .
中国专利 :CN1556015A ,2004-12-22
[9]
在线式石英加热器 [P]. 
简建至 ;
江献茂 ;
黄自柯 .
中国专利 :CN202522066U ,2012-11-07
[10]
新型高腐蚀性化学品在线石英加热器用装置 [P]. 
董锐 ;
张海峰 ;
楚兆俊 .
中国专利 :CN220733026U ,2024-04-05