用于半导体湿法工艺中的化学品在线加热器

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201920385539.1

申请日：

2019-03-25

公开(公告)号：

CN209930536U

公开(公告)日：

2020-01-10

发明(设计)人：

王静强黄锡钦

申请人：

申请人地址：

215000 江苏省苏州市昆山市周市镇黄浦江北路333号A-1厂房

IPC主分类号：

H05B378

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-01-10	授权	授权
2022-03-11	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H05B 3/78 申请日:20190325 授权公告日:20200110 终止日期:20210325

共 50 条

[1]

用于半导体湿法工艺中的化学品循环过滤槽 [P].

王静强 ;

周志刚 .

中国专利 :CN209917397U ,2020-01-10

[2]

半导体芯片生产用化学品在线加热器 [P].

陈景韶 .

中国专利 :CN205430635U ,2016-08-03

[3]

用于半导体湿法工艺中的化学品过滤罐 [P].

王静强 ;

陈亮 .

中国专利 :CN209809660U ,2019-12-20

[4]

一种半导体芯片生产用化学品在线加热器 [P].

郭家宏 .

中国专利 :CN207720428U ,2018-08-10

[5]

一种用于半导体湿法化学刻蚀设备中的石英在线加热器 [P].

达良 ;

李冰 ;

代昊天 .

中国专利 :CN221827838U ,2024-10-11

[6]

在线式高纯度化学品加热器 [P].

霍华德·J·贝斯 ;

德里克·L·萨尼斯罗 .

中国专利 :CN112136359A ,2020-12-25

[7]

用于半导体制造的化学品加热装置 [P].

谭华强 ;

王卓 .

中国专利 :CN110993532B ,2020-04-10

[8]

半导体清洗设备化学药液加热器 [P].

黄德雷 ;

钟岩峰 ;

周博通 .

中国专利 :CN216673325U ,2022-06-03

[9]

储存半导体超化学品的防冻储罐 [P].

宋国华 .

中国专利 :CN210913748U ,2020-07-03

[10]

用于化学品输送系统的加热器设计方案 [P].

达温德·沙玛 ;

克里斯多夫·J·劳 ;

班亚·翁森纳库姆 ;

查理·达马索 ;

马文·克莱顿·布里斯 .

中国专利 :CN115485412A ,2022-12-16

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