用于化学品输送系统的加热器设计方案

被引：0

申请号：

CN202180032165.5

申请日：

2021-04-27

公开(公告)号：

CN115485412A

公开(公告)日：

2022-12-16

发明(设计)人：

达温德·沙玛克里斯多夫·J·劳班亚·翁森纳库姆查理·达马索马文·克莱顿·布里斯

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

C23C16448

IPC分类号：

H01L2167

代理机构：

上海胜康律师事务所 31263

代理人：

李献忠;张华

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2023-01-03	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/448 申请日:20210427
2022-12-16	公开	公开

共 50 条

[1]

用于半导体湿法工艺中的化学品在线加热器 [P].

王静强 ;

黄锡钦 .

中国专利 :CN209930536U ,2020-01-10

[2]

化学品输送系统 [P].

张伟明 ;

姚静君 ;

谢娟 .

中国专利 :CN119983147A ,2025-05-13

[3]

在线式高纯度化学品加热器 [P].

霍华德·J·贝斯 ;

德里克·L·萨尼斯罗 .

中国专利 :CN112136359A ,2020-12-25

[4]

化学品混合与输送系统及其方法 [P].

兰迪·福西 ;

A·J·肯尼斯 .

中国专利 :CN100379678C ,2008-04-09

[5]

用于化学品输送系统的降温装置 [P].

黄逸云 ;

黄志仁 ;

林鼎钧 ;

魏明德 .

中国专利 :CN207936541U ,2018-10-02

[6]

用于化学品输送系统的升温装置 [P].

黄逸云 ;

黄志仁 ;

林鼎钧 ;

魏明德 .

中国专利 :CN207882784U ,2018-09-18

[7]

化学品输送器 [P].

查尔斯·R·韦德里希 ;

杰拉德·F·多雷 .

中国专利 :CN1090039C ,1997-04-30

[8]

化学品输送系统和消除化学品输送管路静电的方法 [P].

邱垂翰 ;

王青 ;

秦红星 ;

张玉 ;

安建路 .

中国专利 :CN114143947A ,2022-03-04

[9]

一种滤芯式化学品加热器 [P].

王佳伟 ;

张雨 .

中国专利 :CN214120413U ,2021-09-03

[10]

一种用于化学品输送系统的升温装置 [P].

戴志超 ;

叶国梁 ;

沈琦 .

中国专利 :CN222703510U ,2025-04-01

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