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一种用于半导体湿法化学刻蚀设备中的石英在线加热器
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202323290438.1
申请日：
2023-12-04
公开(公告)号：
CN221827838U
公开(公告)日：
2024-10-11
发明(设计)人：
达良
李冰
代昊天
申请人：
杭州库睿斯半导体设备有限公司
申请人地址：
310000 浙江省杭州市钱塘区河庄街道青西二路1099号综合楼602-172号
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
代理机构：
苏州言思嘉信专利代理事务所(普通合伙) 32385
代理人：
黄山
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-10-11 | 授权 | 授权 |