具有喷洒头的快速热处理腔室

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200980125079.8

申请日：

2009-07-09

公开(公告)号：

CN102077330A

公开(公告)日：

2011-05-25

发明(设计)人：

库赫斯特·索瑞伯基约瑟夫·M·拉内什沃尔夫冈·阿德霍尔德阿伦·M·亨特亚历山大·N·勒纳

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

H01L21324

IPC分类号：

代理机构：

北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006

代理人：

徐金国;钟强

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-01-30	授权	授权
2012-02-22	著录事项变更	著录事项变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101287120867 IPC(主分类):H01L 21/324 专利申请号:2009801250798 变更事项:申请人变更前:应用材料股份有限公司变更后:应用材料公司变更事项:地址变更前:美国加利福尼亚州变更后:美国加利福尼亚州
2011-05-25	公开	公开
2011-07-06	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101086497840 IPC(主分类):H01L 21/324 专利申请号:2009801250798 申请日:20090709

共 50 条

[1]

快速热处理腔室 [P].

柯克·莫里茨 ;

阿伦·缪尔·亨特 .

中国专利 :CN105679695B ,2016-06-15

[2]

快速热处理腔室 [P].

柯克·莫里茨 ;

阿伦·缪尔·亨特 .

中国专利 :CN103858214A ,2014-06-11

[3]

用于快速热处理腔室的灯 [P].

J·M·瑞尼西 ;

K·索拉吉 .

中国专利 :CN101617191B ,2009-12-30

[4]

用于快速热处理腔室的灯 [P].

J·M·瑞尼西 ;

K·索拉吉 .

中国专利 :CN102306619A ,2012-01-04

[5]

用于快速热处理腔室的灯 [P].

J·M·瑞尼西 ;

K·索拉吉 .

中国专利 :CN101617190A ,2009-12-30

[6]

晶圆快速热处理腔室 [P].

叶锦哲 ;

李旻璋 ;

李浩 .

中国专利 :CN309136726S ,2025-02-25

[7]

用于快速热处理腔室的透明反射板 [P].

布莱克·R·凯尔梅尔 ;

阿伦·M·亨特 ;

亚历山大·N·勒纳 .

中国专利 :CN105374717B ,2016-03-02

[8]

含有微定位系统的快速热处理腔室 [P].

库赫斯特·索瑞伯基 ;

约瑟夫·M·拉内什 ;

沃尔夫冈·阿德霍尔德 ;

阿伦·M·亨特 ;

布莱克·R·凯尔梅尔 ;

亚历山大·N·勒纳 ;

尼尔·梅里 .

中国专利 :CN102210017A ,2011-10-05

[9]

用于快速热处理腔室的透明反射板 [P].

布莱克·R·凯尔梅尔 ;

阿伦·M·亨特 ;

亚历山大·N·勒纳 .

中国专利 :CN103109359A ,2013-05-15

[10]

具有顶部基板支撑组件的热处理腔室 [P].

欧勒格·塞雷布里安诺夫 ;

约瑟夫·M·拉内什 ;

阿伦·缪尔·亨特 .

中国专利 :CN104040703B ,2014-09-10

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