晶圆快速热处理腔室

被引：0

专利类型：

外观设计

申请号：

CN202430360282.0

申请日：

2024-06-13

公开(公告)号：

CN309136726S

公开(公告)日：

2025-02-25

发明(设计)人：

叶锦哲李旻璋李浩

申请人：

新上联半导体设备（上海）有限公司

申请人地址：

201306 上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区临港新片区飞渡路55号2幢厂房A单元

IPC主分类号：

15-99

IPC分类号：

代理机构：

北京清大紫荆知识产权代理有限公司 11718

代理人：

赵然

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-02-25	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆快速热处理设备 [P].

叶锦哲 ;

李旻璋 ;

李浩 .

中国专利 :CN309100072S ,2025-02-07

[2]

晶圆快速热处理主机 [P].

李旻璋 ;

叶锦哲 ;

李浩 .

中国专利 :CN309081047S ,2025-01-21

[3]

快速热处理腔室 [P].

柯克·莫里茨 ;

阿伦·缪尔·亨特 .

中国专利 :CN105679695B ,2016-06-15

[4]

快速热处理腔室 [P].

柯克·莫里茨 ;

阿伦·缪尔·亨特 .

中国专利 :CN103858214A ,2014-06-11

[5]

用于快速热处理腔室的灯 [P].

J·M·瑞尼西 ;

K·索拉吉 .

中国专利 :CN101617191B ,2009-12-30

[6]

用于快速热处理腔室的灯 [P].

J·M·瑞尼西 ;

K·索拉吉 .

中国专利 :CN102306619A ,2012-01-04

[7]

用于快速热处理腔室的灯 [P].

J·M·瑞尼西 ;

K·索拉吉 .

中国专利 :CN101617190A ,2009-12-30

[8]

晶圆处理设备（多腔室堆栈式） [P].

赵宏宇 ;

孙文婷 ;

张豹 ;

王锐廷 ;

初国超 .

中国专利 :CN303151539S ,2015-04-01

[9]

具有喷洒头的快速热处理腔室 [P].

库赫斯特·索瑞伯基 ;

约瑟夫·M·拉内什 ;

沃尔夫冈·阿德霍尔德 ;

阿伦·M·亨特 ;

亚历山大·N·勒纳 .

中国专利 :CN102077330A ,2011-05-25

[10]

用于快速热处理腔室的透明反射板 [P].

布莱克·R·凯尔梅尔 ;

阿伦·M·亨特 ;

亚历山大·N·勒纳 .

中国专利 :CN105374717B ,2016-03-02

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