晶圆快速热处理主机

被引:0
专利类型
外观设计
申请号
CN202430360283.5
申请日
2024-06-13
公开(公告)号
CN309081047S
公开(公告)日
2025-01-21
发明(设计)人
李旻璋 叶锦哲 李浩
申请人
新上联半导体设备(上海)有限公司
申请人地址
201306 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区飞渡路55号2幢厂房A单元
IPC主分类号
15-99
IPC分类号
代理机构
北京清大紫荆知识产权代理有限公司 11718
代理人
赵然
法律状态
专利实施许可合同备案的生效、变更及注销
国省代码
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共 50 条
[1]
晶圆快速热处理设备 [P]. 
叶锦哲 ;
李旻璋 ;
李浩 .
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[2]
晶圆快速热处理腔室 [P]. 
叶锦哲 ;
李旻璋 ;
李浩 .
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[3]
一种晶圆快速热处理密封机构 [P]. 
耿林茹 ;
白晔茹 ;
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[4]
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[6]
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[8]
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[10]
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