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快速热处理装置和快速热处理方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202410298536.X
申请日：
2024-03-15
公开(公告)号：
CN118676024A
公开(公告)日：
2024-09-20
发明(设计)人：
文勇秀
崔珷炳
池尙炫
朴栽成
申请人：
AP系统股份有限公司
申请人地址：
韩国京畿道华城市东滩产团8便道15-5
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
H01L21/324
代理机构：
北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205
代理人：
贺财俊;刘芳
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-09-20 | 公开 | 公开 |