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快速热处理设备
被引:0
专利类型
:
外观设计
申请号
:
CN202430412949.7
申请日
:
2024-07-03
公开(公告)号
:
CN309668059S
公开(公告)日
:
2025-12-12
发明(设计)人
:
王涛
申请人
:
一塔半导体(安徽)有限公司
申请人地址
:
230601 安徽省合肥市经济技术开发区云二路176号珠江路科技园B栋一层南侧103室
IPC主分类号
:
15-99
IPC分类号
:
代理机构
:
代理人
:
法律状态
:
授权
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2025-12-12
授权
授权
共 50 条
[1]
快速热处理设备(RTP)
[P].
刘丹
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
无锡邑文微电子科技股份有限公司
无锡邑文微电子科技股份有限公司
刘丹
;
刘典
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
无锡邑文微电子科技股份有限公司
无锡邑文微电子科技股份有限公司
刘典
.
中国专利
:CN309021796S
,2024-12-20
[2]
快速热处理设备
[P].
石昌吉
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
株式会社优泰科
株式会社优泰科
石昌吉
;
孔大永
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
株式会社优泰科
株式会社优泰科
孔大永
.
韩国专利
:CN112992723B
,2024-03-22
[3]
快速热处理设备
[P].
石昌吉
论文数:
0
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0
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0
石昌吉
;
孔大永
论文数:
0
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0
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孔大永
;
宋汶奎
论文数:
0
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宋汶奎
;
徐圭澈
论文数:
0
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0
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0
徐圭澈
.
中国专利
:CN107836038B
,2018-03-23
[4]
快速热处理设备
[P].
石昌吉
论文数:
0
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0
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0
石昌吉
;
孔大永
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0
孔大永
.
中国专利
:CN112992723A
,2021-06-18
[5]
晶圆快速热处理设备
[P].
叶锦哲
论文数:
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机构:
新上联半导体设备(上海)有限公司
新上联半导体设备(上海)有限公司
叶锦哲
;
李旻璋
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机构:
新上联半导体设备(上海)有限公司
新上联半导体设备(上海)有限公司
李旻璋
;
李浩
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机构:
新上联半导体设备(上海)有限公司
新上联半导体设备(上海)有限公司
李浩
.
中国专利
:CN309100072S
,2025-02-07
[6]
红外快速热处理设备
[P].
钱佩信
论文数:
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钱佩信
;
侯东彦
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侯东彦
;
陈必贤
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陈必贤
;
林惠旺
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林惠旺
;
李志坚
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李志坚
.
中国专利
:CN2106421U
,1992-06-03
[7]
快速热处理设备及方法
[P].
郑刚
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郑刚
;
华伟
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华伟
;
胡浩
论文数:
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0
胡浩
.
中国专利
:CN103123905A
,2013-05-29
[8]
红外快速热处理设备的热处理石英腔
[P].
钱佩信
论文数:
0
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0
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钱佩信
;
林惠旺
论文数:
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0
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林惠旺
;
陈必贤
论文数:
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0
陈必贤
.
中国专利
:CN2183546Y
,1994-11-23
[9]
快速热处理设备的边缘环以及快速热处理设备
[P].
任瑞龙
论文数:
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0
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0
任瑞龙
.
中国专利
:CN201915170U
,2011-08-03
[10]
带竖立式热处理腔的半导体快速热处理设备
[P].
林惠旺
论文数:
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林惠旺
;
陈必贤
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0
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陈必贤
;
王舜远
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0
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王舜远
;
白玉琦
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0
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0
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0
白玉琦
.
中国专利
:CN100356505C
,2005-07-06
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