快速热处理设备

被引:0
专利类型
外观设计
申请号
CN202430412949.7
申请日
2024-07-03
公开(公告)号
CN309668059S
公开(公告)日
2025-12-12
发明(设计)人
王涛
申请人
一塔半导体(安徽)有限公司
申请人地址
230601 安徽省合肥市经济技术开发区云二路176号珠江路科技园B栋一层南侧103室
IPC主分类号
15-99
IPC分类号
代理机构
代理人
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国省代码
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共 50 条
[1]
快速热处理设备(RTP) [P]. 
刘丹 ;
刘典 .
中国专利 :CN309021796S ,2024-12-20
[2]
快速热处理设备 [P]. 
石昌吉 ;
孔大永 .
韩国专利 :CN112992723B ,2024-03-22
[3]
快速热处理设备 [P]. 
石昌吉 ;
孔大永 ;
宋汶奎 ;
徐圭澈 .
中国专利 :CN107836038B ,2018-03-23
[4]
快速热处理设备 [P]. 
石昌吉 ;
孔大永 .
中国专利 :CN112992723A ,2021-06-18
[5]
晶圆快速热处理设备 [P]. 
叶锦哲 ;
李旻璋 ;
李浩 .
中国专利 :CN309100072S ,2025-02-07
[6]
红外快速热处理设备 [P]. 
钱佩信 ;
侯东彦 ;
陈必贤 ;
林惠旺 ;
李志坚 .
中国专利 :CN2106421U ,1992-06-03
[7]
快速热处理设备及方法 [P]. 
郑刚 ;
华伟 ;
胡浩 .
中国专利 :CN103123905A ,2013-05-29
[8]
红外快速热处理设备的热处理石英腔 [P]. 
钱佩信 ;
林惠旺 ;
陈必贤 .
中国专利 :CN2183546Y ,1994-11-23
[9]
快速热处理设备的边缘环以及快速热处理设备 [P]. 
任瑞龙 .
中国专利 :CN201915170U ,2011-08-03
[10]
带竖立式热处理腔的半导体快速热处理设备 [P]. 
林惠旺 ;
陈必贤 ;
王舜远 ;
白玉琦 .
中国专利 :CN100356505C ,2005-07-06