红外快速热处理设备的热处理石英腔

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN93241758.2

申请日：

1993-10-15

公开(公告)号：

CN2183546Y

公开(公告)日：

1994-11-23

发明(设计)人：

钱佩信林惠旺陈必贤

申请人：

申请人地址：

100084北京市海淀区清华园

IPC主分类号：

F27B500

IPC分类号：

代理机构：

清华大学专利事务所

代理人：

廖元秋

法律状态：

授权

国省代码：

引用

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
1994-11-23	授权	授权
2004-01-28	专利权的终止专利权有效期届满	专利权的终止专利权有效期届满

共 50 条

[1]

红外快速热处理设备 [P].

钱佩信 ;

侯东彦 ;

陈必贤 ;

林惠旺 ;

李志坚 .

中国专利 :CN2106421U ,1992-06-03

[2]

带竖立式热处理腔的半导体快速热处理设备 [P].

林惠旺 ;

陈必贤 ;

王舜远 ;

白玉琦 .

中国专利 :CN100356505C ,2005-07-06

[3]

半导体快速热处理系统的石英腔 [P].

钱佩信 ;

侯东彦 ;

陈必贤 ;

马腾阁 ;

林惠旺 ;

李志坚 .

中国专利 :CN87202679U ,1988-01-13

[4]

具有可移动热挡板的半导体片红外快速热处理腔 [P].

钱佩信 ;

林惠旺 ;

刘志弘 ;

刘朋 ;

刘荣华 .

中国专利 :CN101409228B ,2009-04-15

[5]

快速热处理设备 [P].

王涛 .

中国专利 :CN309668059S ,2025-12-12

[6]

快速热处理设备的边缘环以及快速热处理设备 [P].

任瑞龙 .

中国专利 :CN201915170U ,2011-08-03

[7]

热处理工装及热处理设备 [P].

吴国明 .

中国专利 :CN208335980U ,2019-01-04

[8]

快速热处理设备（RTP） [P].

刘丹 ;

刘典 .

中国专利 :CN309021796S ,2024-12-20

[9]

快速热处理设备 [P].

石昌吉 ;

孔大永 ;

宋汶奎 ;

徐圭澈 .

中国专利 :CN107836038B ,2018-03-23

[10]

快速热处理设备 [P].

石昌吉 ;

孔大永 .

中国专利 :CN112992723A ,2021-06-18

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