快速热处理设备的边缘环以及快速热处理设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201020664206.1

申请日：

2010-12-16

公开(公告)号：

CN201915170U

公开(公告)日：

2011-08-03

发明(设计)人：

任瑞龙

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区上海市张江路18号

IPC主分类号：

C30B3302

IPC分类号：

H01L2100

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅;李时云

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-08-03	授权	授权
2013-04-17	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101567203902 IPC(主分类):C30B 33/02 专利号:ZL2010206642061 变更事项:专利权人变更前权利人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司变更后权利人:中芯国际集成电路制造(北京)有限公司变更事项:地址变更前权利人:201203 上海市浦东新区张江路18号变更后权利人:100176 北京市经济技术开发区文昌大道18号登记生效日:20130325
2019-12-06	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C30B 33/02 申请日:20101216 授权公告日:20110803 终止日期:20181216

共 50 条

[1]

快速热处理设备 [P].

王涛 .

中国专利 :CN309668059S ,2025-12-12

[2]

快速热处理设备 [P].

石昌吉 ;

孔大永 .

韩国专利 :CN112992723B ,2024-03-22

[3]

快速热处理设备 [P].

石昌吉 ;

孔大永 ;

宋汶奎 ;

徐圭澈 .

中国专利 :CN107836038B ,2018-03-23

[4]

快速热处理设备 [P].

石昌吉 ;

孔大永 .

中国专利 :CN112992723A ,2021-06-18

[5]

红外快速热处理设备的热处理石英腔 [P].

钱佩信 ;

林惠旺 ;

陈必贤 .

中国专利 :CN2183546Y ,1994-11-23

[6]

快速热处理设备（RTP） [P].

刘丹 ;

刘典 .

中国专利 :CN309021796S ,2024-12-20

[7]

晶圆快速热处理设备 [P].

叶锦哲 ;

李旻璋 ;

李浩 .

中国专利 :CN309100072S ,2025-02-07

[8]

红外快速热处理设备 [P].

钱佩信 ;

侯东彦 ;

陈必贤 ;

林惠旺 ;

李志坚 .

中国专利 :CN2106421U ,1992-06-03

[9]

快速热处理设备及方法 [P].

郑刚 ;

华伟 ;

胡浩 .

中国专利 :CN103123905A ,2013-05-29

[10]

热处理钢带边缘处理设备 [P].

李益明 .

中国专利 :CN201168834Y ,2008-12-24

← 1 2 3 4 5 →