晶圆快速热处理设备

被引:0
专利类型
外观设计
申请号
CN202430360281.6
申请日
2024-06-13
公开(公告)号
CN309100072S
公开(公告)日
2025-02-07
发明(设计)人
叶锦哲 李旻璋 李浩
申请人
新上联半导体设备(上海)有限公司
申请人地址
201306 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区飞渡路55号2幢厂房A单元
IPC主分类号
15-99
IPC分类号
代理机构
北京清大紫荆知识产权代理有限公司 11718
代理人
赵然
法律状态
专利申请权、专利权的转移
国省代码
引用
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共 50 条
[1]
晶圆快速热处理主机 [P]. 
李旻璋 ;
叶锦哲 ;
李浩 .
中国专利 :CN309081047S ,2025-01-21
[2]
晶圆快速热处理腔室 [P]. 
叶锦哲 ;
李旻璋 ;
李浩 .
中国专利 :CN309136726S ,2025-02-25
[3]
晶圆热处理设备 [P]. 
王通 ;
吕晓晨 .
中国专利 :CN211238176U ,2020-08-11
[4]
晶圆快速热处理设备的腔体结构 [P]. 
林武郎 ;
洪水斌 ;
吕学礼 ;
郑煌玉 ;
周明源 ;
李颖松 ;
郭明伦 ;
石玉光 .
中国专利 :CN201540878U ,2010-08-04
[5]
一种晶圆快速热处理设备 [P]. 
朱汪龙 ;
闾浩 ;
沈正洁 ;
郭昱 .
中国专利 :CN119864299A ,2025-04-22
[6]
快速热处理设备 [P]. 
王涛 .
中国专利 :CN309668059S ,2025-12-12
[7]
一种晶圆的快速热处理设备 [P]. 
陈大伟 .
中国专利 :CN222690661U ,2025-03-28
[8]
一种晶圆热处理设备的边缘环及晶圆热处理设备 [P]. 
刘佑铭 .
中国专利 :CN211265419U ,2020-08-14
[9]
一种用于晶圆的快速热处理设备 [P]. 
苏竑森 ;
管士亚 .
中国专利 :CN220585195U ,2024-03-12
[10]
承载组件、晶圆传送装置及晶圆热处理设备 [P]. 
邵鑫 .
中国专利 :CN216487983U ,2022-05-10