学术探索
学术期刊
学术作者
新闻热点
数据分析
智能评审

一种晶圆的快速热处理设备

被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202421379232.8
申请日：
2024-06-17
公开(公告)号：
CN222690661U
公开(公告)日：
2025-03-28
发明(设计)人：
陈大伟
申请人：
广州增芯科技有限公司
申请人地址：
511300 广东省广州市增城区宁西街创优路333号
IPC主分类号：
H01L21/687
IPC分类号：
H01L21/324
代理机构：
上海慧晗知识产权代理事务所(普通合伙) 31343
代理人：
李晴
法律状态：
授权
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-03-28 授权 授权
共 50 条
[1]
一种用于晶圆的快速热处理设备 [P]. 
苏竑森 ;
管士亚 .
中国专利 :CN220585195U ,2024-03-12
[2]
一种晶圆热处理设备 [P]. 
刘自强 .
中国专利 :CN221668779U ,2024-09-06
[3]
晶圆快速热处理设备 [P]. 
叶锦哲 ;
李旻璋 ;
李浩 .
中国专利 :CN309100072S ,2025-02-07
[4]
一种晶圆热处理设备的边缘环及晶圆热处理设备 [P]. 
刘佑铭 .
中国专利 :CN211265419U ,2020-08-14
[5]
晶圆快速热处理设备的腔体结构 [P]. 
林武郎 ;
洪水斌 ;
吕学礼 ;
郑煌玉 ;
周明源 ;
李颖松 ;
郭明伦 ;
石玉光 .
中国专利 :CN201540878U ,2010-08-04
[6]
一种晶圆快速热处理设备 [P]. 
朱汪龙 ;
闾浩 ;
沈正洁 ;
郭昱 .
中国专利 :CN119864299A ,2025-04-22
[7]
晶圆热处理设备 [P]. 
王通 ;
吕晓晨 .
中国专利 :CN211238176U ,2020-08-11
[8]
一种晶圆加热承载装置及快速热处理设备 [P]. 
吴悦 .
中国专利 :CN223193801U ,2025-08-05
[9]
一种晶圆的快速热处理装置 [P]. 
廖宜专 ;
郑志成 ;
吴启明 .
中国专利 :CN217768311U ,2022-11-08
[10]
一种辅助更换晶圆快速热处理设备中灯泡的装置 [P]. 
范子敬 .
中国专利 :CN206194702U ,2017-05-24
12345