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快速热处理工艺设备及晶圆位置纠偏方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202410702616.7
申请日：
2024-05-31
公开(公告)号：
CN121054516A
公开(公告)日：
2025-12-02
发明(设计)人：
路彦辉
石烁
陈敬永
申请人：
北京北方华创微电子装备有限公司
申请人地址：
100176 北京市大兴区北京经济技术开发区文昌大道8号
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
H01L21/68
代理机构：
北京荟英捷创知识产权代理事务所(普通合伙) 11726
代理人：
左文
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
安徽省
宣城市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-12-19 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/67申请日:20240531 |
| 2025-12-02 | 公开 | 公开 |