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热处理装置及工艺设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202411545789.9
申请日：
2024-10-31
公开(公告)号：
CN119069393B
公开(公告)日：
2025-02-18
发明(设计)人：
闻龙
石岱
曹红波
申请人：
北京屹唐半导体科技股份有限公司
申请人地址：
100176 北京市大兴区北京经济技术开发区经海二路28号8幢
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
G01J5/00
代理机构：
北京易光知识产权代理有限公司 11596
代理人：
王英;金爱静
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
安徽省
宣城市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-12-20 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/67申请日:20241031 |
| 2024-12-03 | 公开 | 公开 |
| 2025-02-18 | 授权 | 授权 |