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提取装置、工艺设备及提取方法
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN202411595494.2
申请日
:
2024-11-08
公开(公告)号
:
CN119447015A
公开(公告)日
:
2025-02-14
发明(设计)人
:
蒙小刚
曹红波
宋岭
申请人
:
北京屹唐半导体科技股份有限公司
申请人地址
:
100176 北京市大兴区北京经济技术开发区经海二路28号8幢
IPC主分类号
:
H01L21/687
IPC分类号
:
H01L21/677
代理机构
:
北京易光知识产权代理有限公司 11596
代理人
:
王英;金爱静
法律状态
:
公开
国省代码
:
安徽省 宣城市
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2025-02-14
公开
公开
2025-03-04
实质审查的生效
实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/687申请日:20241108
共 50 条
[1]
热处理装置及工艺设备
[P].
闻龙
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
北京屹唐半导体科技股份有限公司
北京屹唐半导体科技股份有限公司
闻龙
;
石岱
论文数:
0
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0
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机构:
北京屹唐半导体科技股份有限公司
北京屹唐半导体科技股份有限公司
石岱
;
曹红波
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
北京屹唐半导体科技股份有限公司
北京屹唐半导体科技股份有限公司
曹红波
.
中国专利
:CN119069393A
,2024-12-03
[2]
热处理装置及工艺设备
[P].
闻龙
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
北京屹唐半导体科技股份有限公司
北京屹唐半导体科技股份有限公司
闻龙
;
石岱
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
北京屹唐半导体科技股份有限公司
北京屹唐半导体科技股份有限公司
石岱
;
曹红波
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
北京屹唐半导体科技股份有限公司
北京屹唐半导体科技股份有限公司
曹红波
.
中国专利
:CN119069393B
,2025-02-18
[3]
工艺腔室及工艺设备
[P].
么曼实
论文数:
0
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0
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0
机构:
北京屹唐半导体科技股份有限公司
北京屹唐半导体科技股份有限公司
么曼实
;
李海卫
论文数:
0
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0
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机构:
北京屹唐半导体科技股份有限公司
北京屹唐半导体科技股份有限公司
李海卫
;
罗功林
论文数:
0
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0
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机构:
北京屹唐半导体科技股份有限公司
北京屹唐半导体科技股份有限公司
罗功林
;
薛俊辉
论文数:
0
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0
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机构:
北京屹唐半导体科技股份有限公司
北京屹唐半导体科技股份有限公司
薛俊辉
;
张孟湜
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
北京屹唐半导体科技股份有限公司
北京屹唐半导体科技股份有限公司
张孟湜
.
中国专利
:CN118969685B
,2025-01-21
[4]
工艺腔室及工艺设备
[P].
么曼实
论文数:
0
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0
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0
机构:
北京屹唐半导体科技股份有限公司
北京屹唐半导体科技股份有限公司
么曼实
;
李海卫
论文数:
0
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0
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机构:
北京屹唐半导体科技股份有限公司
北京屹唐半导体科技股份有限公司
李海卫
;
罗功林
论文数:
0
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0
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0
机构:
北京屹唐半导体科技股份有限公司
北京屹唐半导体科技股份有限公司
罗功林
;
薛俊辉
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0
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0
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0
机构:
北京屹唐半导体科技股份有限公司
北京屹唐半导体科技股份有限公司
薛俊辉
;
张孟湜
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0
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0
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机构:
北京屹唐半导体科技股份有限公司
北京屹唐半导体科技股份有限公司
张孟湜
.
中国专利
:CN118969685A
,2024-11-15
[5]
热处理装置、工艺设备及热处理方法
[P].
闻龙
论文数:
0
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0
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0
机构:
北京屹唐半导体科技股份有限公司
北京屹唐半导体科技股份有限公司
闻龙
;
曹红波
论文数:
0
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0
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0
机构:
北京屹唐半导体科技股份有限公司
北京屹唐半导体科技股份有限公司
曹红波
.
中国专利
:CN119063469A
,2024-12-03
[6]
热处理装置、工艺设备及热处理方法
[P].
闻龙
论文数:
0
引用数:
0
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机构:
北京屹唐半导体科技股份有限公司
北京屹唐半导体科技股份有限公司
闻龙
;
曹红波
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
北京屹唐半导体科技股份有限公司
北京屹唐半导体科技股份有限公司
曹红波
.
中国专利
:CN119063469B
,2025-02-07
[7]
检测装置和半导体工艺设备
[P].
王明伟
论文数:
0
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0
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0
机构:
北京七星华创集成电路装备有限公司
北京七星华创集成电路装备有限公司
王明伟
.
中国专利
:CN220934021U
,2024-05-10
[8]
静电消除装置及半导体工艺设备
[P].
贾海波
论文数:
0
引用数:
0
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机构:
北京北方华创微电子装备有限公司
北京北方华创微电子装备有限公司
贾海波
;
杨帅
论文数:
0
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机构:
北京北方华创微电子装备有限公司
北京北方华创微电子装备有限公司
杨帅
;
宋新丰
论文数:
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机构:
北京北方华创微电子装备有限公司
北京北方华创微电子装备有限公司
宋新丰
.
中国专利
:CN120568558A
,2025-08-29
[9]
蒸汽发生装置及半导体工艺设备
[P].
马宏帅
论文数:
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0
机构:
北京北方华创微电子装备有限公司
北京北方华创微电子装备有限公司
马宏帅
;
赵宏宇
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机构:
北京北方华创微电子装备有限公司
北京北方华创微电子装备有限公司
赵宏宇
;
王锐廷
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机构:
北京北方华创微电子装备有限公司
北京北方华创微电子装备有限公司
王锐廷
.
中国专利
:CN118442581A
,2024-08-06
[10]
承载装置、工艺腔室及半导体工艺设备
[P].
项宏波
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0
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机构:
北京北方华创微电子装备有限公司
北京北方华创微电子装备有限公司
项宏波
;
张楠
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引用数:
0
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机构:
北京北方华创微电子装备有限公司
北京北方华创微电子装备有限公司
张楠
;
潘永清
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机构:
北京北方华创微电子装备有限公司
北京北方华创微电子装备有限公司
潘永清
;
史全宇
论文数:
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引用数:
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机构:
北京北方华创微电子装备有限公司
北京北方华创微电子装备有限公司
史全宇
.
中国专利
:CN121023453A
,2025-11-28
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